VEECO ایل ای ڈی EPI سسیپٹر

سیمی کنڈکٹر ایل ای ڈی مینوفیکچرنگ میں ایپیٹیکسیل گروتھ ایک انتہائی اہم عمل ہے۔ یہاں تک کہ درجہ حرارت یا نمو کے حالات میں معمولی تغیرات بھی براہ راست طول موج کی تبدیلیوں، پیداوار میں کمی اور چھانٹی کے اخراجات میں اضافے کا سبب بن سکتے ہیں۔ VEECO MOCVD پلیٹ فارم پر، LED EPI Susceptor ایک بنیادی عمل کے جزو کے طور پر کام کرتا ہے، درست درجہ حرارت کو کنٹرول کرنے، گیس کی سطح کے مستحکم تعاملات، اور طویل مدتی عمل کی تکرار کو قابل بناتا ہے۔ اس کی کارکردگی epitaxial تہہ کے معیار اور مجموعی مینوفیکچرنگ کی کارکردگی کو براہ راست متاثر کرتی ہے۔

Semixlab VEECO LED EPI Susceptor خاص طور پر VEECO کے وسیع پیمانے پر استعمال ہونے والے LED MOCVD سسٹمز کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے، بشمول K465i، K475i، K465i-P، اور پروپیل ری ایکٹرز۔ الٹرا ہائی پیوریٹی گریفائٹ سے تیار کردہ، اس سبسٹریٹ کو اس کی بہترین تھرمل چالکتا اور قابل کنٹرول تھرمل ردعمل کے لیے منتخب کیا گیا تھا، جس سے گیلیم نائٹرائڈ پر مبنی ایپیٹیکسی کے لیے درکار اعلی درجہ حرارت کے حالات میں مستحکم حرارت کو فعال کیا گیا تھا۔ استحکام کو بڑھانے اور صفائی کے عمل کو بڑھانے کے لیے، گریفائٹ سبسٹریٹ کو سلکان کاربائیڈ (SiC) حفاظتی تہہ کے ساتھ لیپت کیا جاتا ہے۔ یہ کوٹنگ کیمیائی سنکنرن، تھرمل سائیکلنگ، اور امونیا اور ہائیڈروجن سے بھرپور نشوونما کے ماحول میں ذرہ پیدا کرنے کے خلاف غیر معمولی مزاحمت کا مظاہرہ کرتی ہے۔

VEECO MOCVD ری ایکٹرز میں LED epitaxial نمو کے دوران، سبسٹریٹ چیمبر کے اندر تمام ویفرز میں یکساں درجہ حرارت کے میدان کو قائم کرنے اور برقرار رکھنے میں مرکزی کردار ادا کرتا ہے۔ K465i اور K475i جیسے سسٹمز میں عام طور پر استعمال ہونے والی ملٹی ویفر کنفیگریشنز کے لیے، InGaN کوانٹم ویلز میں انڈیم ڈوپنگ کو کنٹرول کرنے کے لیے ویفرز اور ویفر سینٹر سے کنارے تک درجہ حرارت کی یکسانیت اہم ہے۔ سیمکس لیب سبسٹریٹس مؤثر طریقے سے گرمی کو جذب اور دوبارہ تقسیم کرتے ہیں، تھرمل گریڈینٹ کو کم سے کم کرتے ہیں تاکہ طول موج کی غیر ہم آہنگی، موٹائی کی مختلف حالتوں، یا مقامی تناؤ کو روکا جا سکے جو پیچیدہ LED تہوں کے ڈھیروں میں ہو سکتے ہیں۔

تھرمل مینجمنٹ سے آگے، سبسٹریٹ جیومیٹری اور سطح کی خصوصیات ری ایکٹر کے اندر گیس کے بہاؤ کے رویے اور باؤنڈری لیئر کے استحکام کو متاثر کرتی ہیں۔ Semixlab VEECO LED epitaxial گروتھ سبسٹریٹس یکساں گیس کی تقسیم کو یقینی بناتے ہیں اور پرجیوی جمع کو دباتے ہیں، epitaxial یکسانیت کو بڑھاتے ہیں اور پیداوار کے دوران خرابی کی تشکیل کو کم کرتے ہیں۔ VEECO MOCVD آلات کو استعمال کرنے والے اعلیٰ حجم والے LED ویفر فیبس کے لیے طویل مدتی وشوسنییتا ایک اہم ضرورت ہے۔ 1000 ° C سے زیادہ درجہ حرارت اور سنکنرن کیمیائی ماحول کی بار بار نمائش ری ایکٹر کے اجزاء پر اہم دباؤ ڈالتی ہے۔ سیمکس لیب سبسٹریٹس میں سلیکون کاربائیڈ لیپت سطحیں ہیں جو جنگی صفحوں، کوٹنگ کے انحطاط اور آلودگی کے خلاف غیر معمولی مزاحمت پیش کرتی ہیں، جبکہ توسیعی آپریشن کے دوران مستحکم اخراج کو برقرار رکھتی ہیں۔

سیمی کنڈکٹر پراسیس مواد اور MOCVD ری ایکٹر کے اجزاء میں Semixlab کی گہری مہارت کا فائدہ اٹھاتے ہوئے، VEECO LED EPI Susceptor جدید LED ایپیٹیکسیل پروسیس کے ابھرتے ہوئے مطالبات کو پورا کرنے کے لیے تیار کیا گیا ہے۔ اس کے ساتھ ہی، Semixlab سیمی کنڈکٹر MOCVD epitaxial عمل کے لیے جدید ٹیکنالوجیز اور اپنی مرضی کے مطابق LED EPI Susceptor سلوشنز فراہم کرنے کے لیے پرعزم ہے۔ ہم خلوص دل سے چین میں آپ کے طویل مدتی شراکت دار بننے کے منتظر ہیں۔