SiC Epitaxy کے لئے TaC لیپت ویفر رنگ

TaC Coated Wafer Ring for SiC Epitaxy ایک اہم پراسیس جزو ہے جو اعلی درجہ حرارت کے سلکان کاربائیڈ ایپیٹیکسیل نمو کے دوران ویفر کے کنارے پر تھرمل اور کیمیائی استحکام کو یقینی بنانے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ SiC CVD اور MOCVD کے عمل میں، ویفر کنارے کے حالات درجہ حرارت کی یکسانیت، گیس کے بہاؤ کے رویے، اور پرجیوی جمع کو نمایاں طور پر متاثر کرتے ہیں۔ ایس آئی سی ویفرز کے ارد گرد ردعمل کی حد کو واضح طور پر بیان کرتے ہوئے، ویفر رنگ مقامی ترقی کے ماحول کو مستحکم کرنے میں ایک اہم کردار ادا کرتا ہے۔ یہ مسلسل اپیٹیکسیل موٹائی، یکساں ڈوپنگ ڈسٹری بیوشن، اور پوری پیداوار میں اعلیٰ پیداوار کو یقینی بناتا ہے۔

یہ جزو اعلیٰ پاکیزگی والے آئسوسٹیٹک گریفائٹ کو اپنے ذیلی مواد کے طور پر استعمال کرتا ہے، جو انتہائی عمل کے حالات میں شاندار تھرمل چالکتا، ساختی سالمیت، اور مشینی صلاحیت کو ظاہر کرتا ہے۔ گریفائٹ سبسٹریٹ کی سطح ایک گھنے ٹینٹلم کاربائیڈ (TaC) پرت کے ساتھ یکساں طور پر لیپت ہے، جو کیمیائی سنکنرن اور تھرمل انحطاط کے خلاف غیر معمولی مزاحمت کے ساتھ ایک مضبوط حفاظتی رکاوٹ بناتی ہے۔ ہائیڈروجن اور ہالوجن پر مشتمل ری ایکٹیو گیسوں کے ساتھ 1600 ° C سے زیادہ درجہ حرارت پر کام کرنے والے SiC ایپیٹیکسی ماحول کے اندر — ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ مؤثر طریقے سے گریفائٹ کے سنکنرن کو دباتی ہے، ذرات کی پیداوار کو کم کرتی ہے، اور توسیعی آپریشنل سائیکلوں کے دوران سطح کے مستحکم حالات کو برقرار رکھتی ہے۔

عمل کے نقطہ نظر سے، TaC کوٹڈ ویفر رِنگز براہ راست کنارے تھرمل فیلڈ کے استحکام اور گیس کے بہاؤ کو کنٹرول کرنے میں حصہ ڈالتے ہیں، کنارے سے متعلق عدم یکسانیت کو کم کرتے ہیں اور ارد گرد کے ہارڈ ویئر پر پرجیوی جمع کو کم کرتے ہیں۔ TaC کی کیمیائی جڑت اور اعلی پگھلنے کا نقطہ (3880 ° C) کوٹنگ انحطاط یا ڈیلامینیشن کے بغیر corrosive epitaxial کیمیائی ماحول میں طویل نمائش کے قابل بناتا ہے، جو کہ کم خرابی کی کثافت اور دوبارہ قابل عمل کارکردگی کو برقرار رکھنے کے لیے اہم ہے۔ غیر کوٹیڈ یا روایتی SiC اجزاء کے مقابلے، TaC-کوٹیڈ ڈھانچے نمایاں طور پر سروس کی زندگی کو بڑھاتے ہیں، عمل کی مستقل مزاجی کو بڑھاتے ہیں، اور حجم کی پیداوار میں ملکیت کی کل لاگت کو کم کرتے ہیں۔

SiC epitaxy پروسیس کے ایک سرکردہ چینی فراہم کنندہ کے طور پر، ہمارے TaC Coated Wafer Rings آپ کی مخصوص پیداواری ضروریات کے مطابق اپنی مرضی کے مطابق ڈیزائن سلوشن پیش کرتے ہیں۔ ہم خلوص دل سے چین میں آپ کے طویل مدتی شراکت دار بننے کے منتظر ہیں۔

ایک خوردبین کراس سیکشن پر ٹینٹلم کاربائیڈ (TaC) کوٹنگ