0200-09911 کوارٹج کور رنگ

AMAT 0200-09911 کوارٹز کور رِنگ ایک درست انجنیئرڈ ہائی پیوریٹی کوارٹج جزو ہے جو پلازما ایچنگ سسٹم میں استعمال کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ یہ ایک حفاظتی اور عمل کو منظم کرنے والی انگوٹھی کے طور پر کام کرتا ہے جو اینچ چیمبر کے اندر نصب ہوتا ہے، خاص طور پر 200 ملی میٹر ویفر پروسیسنگ پلیٹ فارم میں۔

الٹرا ہائی پیوریٹی فیوزڈ کوارٹز سے تیار کردہ، یہ جزو انتہائی سیمی کنڈکٹر ماحول کے لیے موزوں ہے جس کی خصوصیات:

● ہائی انرجی پلازما کی نمائش

● رد عمل والی کیمیائی گیسیں (مثال کے طور پر، فلورین پر مبنی کیمسٹری)

● تیز تھرمل سائیکلنگ کے حالات

Semixlab ٹیکنالوجی میں، اس پروڈکٹ کو سخت کنٹرول کے ساتھ بنایا گیا ہے:

● مواد کی پاکیزگی (کم دھاتی آلودگی)

● جہتی رواداری (ایج پروسیس کنٹرول کے لیے اہم)

● سطح کی تکمیل (ذرہ کی پیداوار کو کم سے کم کرنا)

یہ جدید سیمی کنڈکٹر فیبریکیشن کے عمل میں مسلسل کارکردگی کو یقینی بناتا ہے۔

عام ناکامی کے طریقے

سخت پلازما حالات میں کام کرنے والے قابل استعمال اجزاء کے طور پر، کوارٹج کور رنگ کئی انحطاطی میکانزم کے تابع ہے:

1. پلازما سے متاثرہ کٹاؤ

● آئن بمباری کی وجہ سے سطح کا کھردرا ہونا

● بتدریج مواد کا نقصان جیومیٹری کو تبدیل کرتا ہے۔

اثر: اینچ کی یکسانیت میں کمی اور عمل کی غیر مستحکم کارکردگی

2. کیمیائی جمع اور آلودگی

● سطح پر پولیمر یا بائی پروڈکٹ کا جمع ہونا

● تھرمل سائیکلنگ کے دوران فلکنگ یا چھیلنا

اثر: ذرہ پیدا کرنا اور ویفر کی آلودگی

3. تھرمل اسٹریس کریکنگ

● بار بار حرارتی اور کولنگ سائیکل مائیکرو کریکس کو جنم دیتے ہیں۔

● کریک پھیلاؤ ساختی ناکامی کا باعث بنتا ہے۔

اثر: اچانک ٹوٹنا اور غیر منصوبہ بند وقت

4. پارٹیکل جنریشن

● بڑھاپا کوارٹج مائیکرو فریکچر کا باعث بنتا ہے۔

● سطح کا انحطاط چیمبر میں ذرات جاری کرتا ہے۔

اثر: پیداوار میں کمی اور خرابی میں اضافہ

Semixlab ٹیکنالوجی کیوں منتخب کریں؟

Semixlab ٹیکنالوجی میں، ہم ڈیلیوری کے لیے اعلی درجے کی کوارٹز فیبریکیشن صلاحیتوں کے ساتھ گہرے سیمی کنڈکٹر عمل کی مہارت کو یکجا کرتے ہیں:

● الٹرا کلین پروسیسنگ کے لیے اعلیٰ طہارت کا کوارٹج مواد

● عین مطابق OEM مطابقت کے لئے صحت سے متعلق مشینی

● ملکیت کی لاگت کو کم کرنے کے لیے زندگی بھر کی بہتر کارکردگی (CoO)

● سخت کوالٹی کنٹرول سیمی کنڈکٹر فیب معیارات کے ساتھ منسلک

ہمارے متبادل پرزوں کو OEM وضاحتوں کو پورا کرنے یا اس سے تجاوز کرنے کے لیے انجنیئر کیا گیا ہے، جس سے ہموار انضمام اور اینچ ماحول کا مطالبہ کرنے میں قابل اعتماد کارکردگی کو یقینی بنایا گیا ہے۔

سامان اور فنکشنل رول میں پوزیشن

تنصیب کی پوزیشن

کوارٹج کور رنگ عام طور پر نصب کیا جاتا ہے:

● ویفر کنارے کے علاقے کے ارد گرد

● الیکٹرو اسٹیٹک چک (ESC) پر یا اس کے قریب

● اینچ چیمبر کے پلازما ایکسپوزر زون کے اندر

یہ کنارے کنٹرول اسمبلی کے حصے کے طور پر کام کرتا ہے، فوکس رِنگز اور شیڈو رِنگز جیسے اجزاء کے ساتھ کام کرتا ہے۔

بنیادی افعال

1. چیمبر اور اجزاء کی حفاظت

انگوٹھی قربانی کی رکاوٹ کے طور پر کام کرتی ہے، اہم اجزاء (جیسے ESCs اور چیمبر کی دیواروں) کو اس سے بچاتی ہے:

● براہ راست پلازما بمباری۔

● کیمیائی سنکنرن

● آئن کی وجہ سے تھوکنا

یہ نمایاں طور پر اعلی قیمت والے چیمبر کے اجزاء کی خدمت زندگی کو بڑھاتا ہے۔

2. پلازما ایج کنٹرول اور عمل استحکام

انجنیئرڈ جیومیٹری (مثلاً قدمی پروفائلز اور نشان والی خصوصیات) مدد کرتی ہے:

● ویفر کنارے کے قریب پلازما شیتھ کی تقسیم کو منظم کریں۔

● کنارے کے اثر کے انحراف کو کم سے کم کریں۔

● اینچ کی یکسانیت اور سی ڈی (اہم جہت) کنٹرول کو بہتر بنائیں

یہ خاص طور پر اعلی صحت سے متعلق پیٹرن کی منتقلی کے عمل میں اہم ہے۔

3. گیس کے بہاؤ اور بائی پروڈکٹ کا انتظام

کور کی انگوٹی اس میں تعاون کرتی ہے:

● ویفر کے کنارے پر کنٹرول شدہ گیس کے بہاؤ کی حرکیات

● ناپسندیدہ علاقوں میں پولیمر کا کم ہونا

● طویل عمل کے دوران چیمبر کے حالات مستحکم ہوتے ہیں۔

یہ براہ راست دوبارہ قابلیت اور پیداوار میں بہتری کی حمایت کرتا ہے۔