لاگو مواد AMAT کوارٹج رنگ

Semixlab اعلی صحت سے متعلق کوارٹج رنگ فراہم کرتا ہے. اس پروڈکٹ کا استعمال بنیادی طور پر PECVD کے عمل میں اعلیٰ معیار کی فلموں کے مستحکم جمع کو یقینی بنانے کے لیے کیا جاتا ہے، جبکہ آلات کی پیداواری کارکردگی اور ویفرز کی پیداوار کو زیادہ سے زیادہ بنایا جاتا ہے۔ پلازما کی تقسیم ہندسی درستگی (±0.1mm) کی طرف سے محدود ہے، ردعمل گیس کے بہاؤ کے میدان کو بہتر بنایا گیا ہے، اور فلم کی یکسانیت کو σ≤1.5% تک بہتر بنایا گیا ہے۔ جذب کرنے کے عمل کے ضمنی مصنوعات نے ویفر کی خرابی کی شرح کو 30٪ تک کم کر دیا ہے۔

فوری تفصیل:

عرفی نام: کوارٹج رنگ، سی ویفر کیریئر، کوارٹج رنگ کٹ، کوارٹج رنگ کٹ، اپر چیمبر رنگ، پی ای سی وی ڈی ڈیپوزیشن رنگ، گیس ڈسٹری بیوشن رنگ

مقصد: پی ای سی وی ڈی کے عمل میں اعلیٰ معیار کی فلموں کی مستحکم جمع کو یقینی بنائیں، جبکہ آلات کی پیداواری کارکردگی اور ویفرز کی پیداوار کو زیادہ سے زیادہ بنائیں۔

بنیادی پیرامیٹرز: یہ خاص طور پر SiN (سلیکون نائٹرائڈ) جمع کرنے کے عمل، اعلی طہارت کوارٹج کے لیے تجویز کیا جاتا ہے، اور خصوصی کوٹنگ کی خدمات فراہم کی جا سکتی ہیں۔ یہ 300 سے 400℃+ کے اعلی درجہ حرارت کو برداشت کر سکتا ہے، پلازما کے کٹاؤ کے خلاف مزاحمت کر سکتا ہے، کوارٹج طہارت ≥99.99%، دھات کی ناپاکی کا مواد 5ppm سے کم، بلبلا/شامل قطر ≤0.1mm، اور نمبر ≤3 فی کیوبک سینٹی میٹر

اہم افعال اور کردار:

● چیمبر کے اہم اجزاء: PECVD عمل کے چیمبر کے اندر واقع ہے، وہ ردعمل کے علاقے کی ایک اہم حد بناتے ہیں۔

● اعلی درجہ حرارت اور پلازما مزاحمت: اعلیٰ طہارت کوارٹز سے بنا، اس میں اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت (PECVD عمل کا درجہ حرارت عام طور پر 300°C سے 400°C+ کی حد کے اندر ہوتا ہے) اور پلازما کے کٹاؤ کے خلاف مزاحمت کرتا ہے۔

● برقی تنہائی/ موصلیت: یہ چیمبر کے اندر برقی موصلیت میں اہم کردار ادا کرتا ہے، پلازما کی مستحکم نسل اور عمل کی یکسانیت کو یقینی بناتا ہے۔

گیس سگ ماہی پر عمل کریں:چیمبر کے اندر عمل گیس کے ماحول کی سگ ماہی کو برقرار رکھنے میں مدد کریں۔

● ویفر عمل کے ماحول کی تعریف: اس کی جیومیٹری اور سطح کی حالت ویفر کے اوپر گیس کے بہاؤ اور پلازما کی تقسیم کو براہ راست متاثر کرتی ہے، جو پتلی فلم کے جمع ہونے کی یکسانیت اور معیار کے لیے اہم ہے۔

●سطح کی کوٹنگ: مخصوص عملوں میں استعمال ہونے والے کچھ کوارٹز حلقے (جیسے SiN) کو خصوصی کوٹنگز (جیسے yttrium oxide Yttria) کے ساتھ لیپت کیا جا سکتا ہے تاکہ ضمنی پروڈکٹ جمع کو مزید کم کیا جا سکے یا مخصوص عمل کے تحت کارکردگی اور سروس کی زندگی کو بہتر بنایا جا سکے۔

لاگو مواد AMAT کوارٹج رنگ درخواست کے منظرنامے۔