Ⅰ سلکان کاربائیڈ سیرامک ​​مصنوعات کے اطلاق کے منظرنامے کیا ہیں؟

سلکان کاربائیڈ (SiC) سیرامکس کو سیمی کنڈکٹر اور فوٹو وولٹک صنعتوں میں کلیدی پراسیس آلات کے بنیادی اجزاء میں ان کی بہترین اعلی درجہ حرارت مزاحمت، سنکنرن مزاحمت، اعلی تھرمل چالکتا اور کم تھرمل توسیع گتانک کی وجہ سے بڑے پیمانے پر استعمال کیا جاتا ہے۔ عام مصنوعات کے مخصوص اطلاق کے منظرنامے درج ذیل ہیں:

سلیکن کاربائیڈ کشتی

فنکشن:

SiC بوٹ عام طور پر اعلی درجہ حرارت کے عمل میں ٹرانسمیشن اور پوزیشننگ کے لیے ویفرز (جیسے سیلیکون ویفرز یا سلکان کاربائیڈ ویفرز) لے جانے کے لیے استعمال ہوتی ہے۔

درخواست کے منظر نامہ:

سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ فیلڈ: ڈفیوژن فرنس اور آکسیڈیشن فرنس میں، کشتی کو 1000 ° C سے زیادہ درجہ حرارت والے ماحول میں طویل عرصے تک مستحکم طور پر کام کرنے کی ضرورت ہوتی ہے تاکہ تھرمل تناؤ کی وجہ سے ویفر کی خرابی یا آلودگی سے بچا جا سکے۔

فوٹو وولٹک انڈسٹری: PECVD (پلازما میں اضافہ شدہ کیمیائی بخارات جمع کرنے) کے آلات میں، کشتی کو سلیکون نائٹرائڈ اینٹی ریفلیکشن فلم جمع کرنے کے لیے سلیکون ویفرز کی مدد کے لیے استعمال کیا جاتا ہے، اور اسے ہائی فریکوئنسی پلازما بمباری اور اعلی درجہ حرارت کے ماحول کو برداشت کرنے کی ضرورت ہوتی ہے۔

سلکان کاربائیڈ فرنس ٹیوب (SiC ری ایکشن ٹیوب)

فنکشن: اعلی درجہ حرارت کے رد عمل کے چیمبر کے بنیادی جزو کے طور پر، یہ ایک یکساں درجہ حرارت کا میدان اور کیمیائی طور پر غیر فعال ماحول فراہم کرتا ہے۔

درخواست کے منظر نامہ:

سیمی کنڈکٹر انڈسٹری: آکسیڈیشن فرنس میں، فرنس ٹیوب کو آکسیجن یا پانی کے بخارات والے ماحول میں طویل عرصے تک مستحکم رہنے کی ضرورت ہوتی ہے تاکہ آکسیڈیشن یا سنکنرن کی وجہ سے نجاست کے اخراج سے بچا جا سکے۔

فوٹوولٹک صنعت: بازی بھٹی میں، فرنس ٹیوب فاسفورس کے پھیلاؤ کے عمل کے لیے استعمال ہوتی ہے (جیسے PERC خلیات کی تیاری)، اور POCl₃ فضا میں تیزابی گیس کے سنکنرن کے خلاف مزاحمت کرنے کے لیے ضروری ہے۔

کینٹیلیور پیڈل اور بوٹ ہولڈر

فنکشن: کینٹیلیور پیڈل خود کار طریقے سے کرسٹل کشتی کو منتقل کرنے کے لئے استعمال کیا جاتا ہے، اور کشتی ہولڈر کرسٹل کشتی کی پوزیشن کو ٹھیک کرنے کے لئے استعمال کیا جاتا ہے.

درخواست کے منظر نامہ:

سیمی کنڈکٹر ویفر کے عمل میں، کینٹیلیور پیڈل کو تھرمل تھکاوٹ کی وجہ سے فریکچر سے بچنے کے لیے تیزی سے اٹھانے اور کم کرنے کے دوران اعلیٰ مکینیکل طاقت کو برقرار رکھنے کی ضرورت ہوتی ہے۔ کشتی کے ہولڈر کو ویفر کے انحراف کو روکنے کے لئے اعلی درجہ حرارت پر ہندسی درستگی کو برقرار رکھنے کی ضرورت ہے۔

Ⅱ فوٹو وولٹک اور سیمی کنڈکٹر صنعتوں میں سلکان کاربائیڈ مواد کے اطلاق کی ہدایات کیا ہیں؟

سلکان کاربائڈ سیرامک ​​مصنوعات کی بنیادی ایپلی کیشنز دو قسم کے سامان کے عمل کے لنکس میں مرکوز ہیں:

کارکردگی کے اشارے	گریفائٹ مواد	سلیکن کاربائیڈ مواد
اعلی درجہ حرارت استحکام	آکسائڈائز کرنے میں آسان (> 500 ° C کوٹنگ کے تحفظ کی ضرورت ہے)	اینٹی آکسیڈیشن (1600 ° C آکسائڈائزنگ ماحول کو طویل عرصے تک برداشت کر سکتا ہے)
کیمیائی inertness	تیزابی گیسوں (جیسے Cl₂، POCl₃) کے ذریعے خراب ہونے میں آسان	تیزاب اور الکلی سنکنرن مزاحمت (بشمول مضبوط سنکنرن میڈیا جیسے HF، HNO₃)
ذرہ آلودگی کا خطرہ	دھول کی آلودگی پیدا کرنے میں آسان، جس کے نتیجے میں ویفر کے نقائص پیدا ہوتے ہیں۔	گھنی سطح، ذرہ بہانے کا کوئی خطرہ نہیں۔
مکینیکل طاقت	اعلی درجہ حرارت پر درست کرنے میں آسان (اعلی تھرمل توسیع گتانک)	اعلی سختی (Mohs سختی 9.2)، مضبوط تھرمل جھٹکا مزاحمت
حرارت کی ایصالیت	Anisotropy، مقامی overheating کے زیادہ خطرہ	ہائی تھرمل چالکتا (120 W/m`K)، یکساں درجہ حرارت کا میدان

فوٹو وولٹک صنعت

پی ای سی وی ڈی فرنس: اینٹی ریفلیکشن فلمیں جمع کرنے کے لیے استعمال ہوتی ہے (جیسے سیلیکون نائٹرائڈ)۔ سلکان کاربائیڈ حصوں کو 400 ~ 500 ° C کے پلازما ماحول میں گلو ڈسچارج کی وجہ سے آئن بمباری کے خلاف مزاحمت کرنے کی ضرورت ہے، جبکہ فلم کی آلودگی سے بچتے ہوئے

بازی بھٹی: PN جنکشن بنانے کے لیے فاسفورس/بوران بازی کے لیے استعمال کیا جاتا ہے۔ سلیکون کاربائیڈ فرنس ٹیوبوں کو POCl₃ یا BBr₃ گیسوں سے 800~1000°C پر سنکنرن کو برداشت کرنے اور ڈوپنگ کی یکسانیت کو یقینی بنانے کی ضرورت ہے۔

سیمی کنڈکٹر انڈسٹری

بازی بھٹی اور آکسیکرن بھٹی:

ڈفیوژن فرنس: آئن امپلانٹیشن کے بعد اینیلنگ کے عمل کے لیے استعمال کیا جاتا ہے۔ سلیکن کاربائیڈ کرسٹل بوٹس کو دھات کی نجاست (جیسے Fe، Ni) کو جاری کرنے سے گریز کرنے کی ضرورت ہے، ورنہ یہ ویفر کے رساو میں اضافہ کا سبب بنے گی۔

آکسیڈیشن فرنس: خشک آکسیجن یا گیلے آکسیجن ماحول میں سلکان ڈائی آکسائیڈ کی تہوں کو اگائیں۔ سلکان کاربائیڈ فرنس ٹیوبوں کو 1200 ° C کے اعلی درجہ حرارت پر کم آکسیجن پارگمیتا کو برقرار رکھنے کی ضرورت ہوتی ہے تاکہ آکسائیڈ پرت کی ناہموار موٹائی کو روکا جا سکے۔

Ⅲ گریفائٹ پر سلکان کاربائیڈ مواد کے کیا فوائد ہیں؟

اگرچہ گریفائٹ مواد میں کم لاگت اور آسان پروسیسنگ کے فوائد ہیں، لیکن وہ درج ذیل اہم خصوصیات میں سلکان کاربائیڈ سے کہیں کمتر ہیں۔

مخصوص کیس کا تجزیہ:

Veteksemicon کے اصل پیداواری اعدادوشمار کے مطابق، سیمی کنڈکٹر ڈفیوژن فرنس میں، گریفائٹ بوٹ کو ہر 3 ماہ بعد تبدیل کرنے کی ضرورت ہے، جبکہ سلکان کاربائیڈ بوٹ 2 سال سے زیادہ چل سکتی ہے، اور ویفر کی پیداوار میں 5% ~ 10% اضافہ ہوا ہے۔

Semixlab کی طرف سے فراہم کردہ پروڈکشن ڈیٹا کے مطابق، فوٹو وولٹک PECVD کے عمل میں، سلکان کاربائیڈ کینٹیلیور پیڈل ذرہ آلودگی کی عدم موجودگی کی وجہ سے بیٹری کی کارکردگی میں 2%~5% اضافہ کر سکتا ہے۔

Ⅳ Semixlab کیوں منتخب کریں؟

Semixlab چین میں ایک معروف صنعت کار اور سپلائر ہے جو 20 سالوں سے گریفائٹ اور SiC سطح کی کوٹنگز کی تحقیق پر توجہ دے رہا ہے۔ برسوں کی تکنیکی تحقیق اور ترقی کے بعد، ہمارا SiC کوٹنگ کا عمل 99.98% سے زیادہ کی پاکیزگی حاصل کر سکتا ہے، اور ہم آپ کی درخواست کے منظرناموں کے مطابق مختلف پاکیزگی اور قیمت والی سلکان کاربائیڈ مصنوعات کو بھی اپنی مرضی کے مطابق بنا سکتے ہیں۔ اگر آپ کو اعلیٰ پاکیزگی کی مصنوعات کی ضرورت ہے، جیسا کہ سیمی کنڈکٹر ویفر مصنوعات کے ساتھ براہ راست رابطہ، ہم آپ کی مختلف سخت تکنیکی ضروریات کو پورا کرنے کے لیے سبسٹریٹ مواد کی سطح پر CVD SiC کوٹنگ، CVD TaC کوٹنگ اور دیگر عمل فراہم کر سکتے ہیں۔