تمام کیٹگریز
CVD سلکان کاربائیڈ (SiC) کوٹنگ

CVD سلکان کاربائیڈ (SiC) کوٹنگ

گھر> حاصل > سی وی ڈی کوٹنگ > CVD سلکان کاربائیڈ (SiC) کوٹنگ

سلکان کاربائیڈ کوٹنگ گریفائٹ ٹرے
SiC لیپت گریفائٹ ٹرے
سلکان کاربائیڈ کوٹنگ گریفائٹ ٹرے
SiC لیپت گریفائٹ ٹرے

سلکان کاربائیڈ کوٹنگ گریفائٹ ٹرے


Semixlab ٹیکنالوجی SiC کوٹڈ گریفائٹ ٹرے ایک اعلیٰ کارکردگی کا پراسیس جزو ہے جو اعلی کثافت آئیسوسٹیٹک گریفائٹ کی مکینیکل طاقت کو گھنے CVD سلکان کاربائیڈ کوٹنگ کی اعلیٰ کیمیائی مزاحمت کے ساتھ جوڑتا ہے۔ SiC اور Si epitaxial reactors، MOCVD سسٹمز، ڈفیوژن فرنس، آکسیڈیشن، اینیلنگ، اور تیز تھرمل پروسیسنگ (RTP) ٹولز میں استعمال کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ یہ اعلی درجے کی سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے لیے تیار کیا گیا ہے۔ بلا جھجھک ہم سے رابطہ کریں۔

تفصیل

سیلیکن کاربائیڈ کوٹنگ گریفائٹ ٹرے کے لیے Semixlab خصوصی گریفائٹ خام مال

Semixlab ٹیکنالوجی میں، ہماری Silicon Carbide (SiC) کوٹیڈ گریفائٹ ٹرے انتہائی مطلوب سیمی کنڈکٹر پراسیس ماحول میں قابل اعتماد طریقے سے کارکردگی کا مظاہرہ کرنے کے لیے انجنیئر کی گئی ہیں — جہاں انتہائی درجہ حرارت، سنکنرن گیسیں، اور انتہائی صاف حالات آپس میں مل جاتے ہیں۔ یہ ٹرے اعلی کثافت آئیسوسٹیٹک گریفائٹ کے تھرمل اور مکینیکل فوائد کو ایک گھنے CVD سلکان کاربائیڈ کوٹنگ کی غیر معمولی کیمیائی استحکام اور سطح کی سالمیت کے ساتھ جوڑتی ہیں۔ نتیجہ ایک مضبوط، اعلیٰ پاکیزگی والا جزو ہے جو عمل کی یکسانیت، پیداوار میں مستقل مزاجی، اور مختلف قسم کے فرنٹ اینڈ ویفر فیبریکیشن مراحل میں ٹول اپ ٹائم کو برقرار رکھنے میں اہم کردار ادا کرتا ہے۔

ایپیٹیکسیل گروتھ سسٹم کے اندر—بشمول سلیکون (Si) اور سلکان کاربائیڈ (SiC) ایپیٹیکسی — SiC کوٹیڈ گریفائٹ ٹرے ایک پریزیشن ویفر کیریئر یا سسپٹر بیس کے طور پر کام کرتی ہے۔ یہ ویفر سطح پر درجہ حرارت کی یکساں تقسیم کو برقرار رکھتے ہوئے مستحکم مکینیکل سپورٹ فراہم کرتا ہے، جو فلم کی موٹائی کنٹرول، ڈوپینٹ یکسانیت، اور کرسٹل کوالٹی کے لیے اہم ہے۔ SiC کوٹنگ ایک کیمیائی طور پر غیر فعال رکاوٹ کے طور پر کام کرتی ہے جو گریفائٹ سبسٹریٹ کو رد عمل والی گیسوں جیسے H₂، HCl، اور SiHCl₃ سے الگ کرتی ہے، کاربن آلودگی یا گیس کے مرحلے کے رد عمل کو روکتی ہے۔ اس کی آئینہ ہموار سطح ذرات کی پیداوار کو کم سے کم کرتی ہے اور بغیر کسی کمی کے 1650 ° C تک اعلی درجہ حرارت والے ماحول میں طویل مدتی آپریشن کے قابل بناتی ہے۔

SiC کوٹڈ سیٹ ڈسک ایپلیکیشن کے منظرنامے۔

سلکان کاربائیڈ کوٹنگ گریفائٹ ٹرے کی درخواست کے منظرنامے۔

MOCVD اور کمپاؤنڈ سیمی کنڈکٹر جمع کرنے کے عمل میں — جو GaN، GaAs، اور InP ڈیوائس فیبریکیشن کے لیے استعمال ہوتے ہیں — ٹرے ایک اعلی درجہ حرارت والے ویفر کیریئر کے طور پر کام کرتی ہے جسے ہائیڈروجن اور امونیا پر مبنی کیمسٹری کے بار بار نمائش کا سامنا کرنا پڑتا ہے۔ SiC کوٹنگ کی اعلی سنکنرن مزاحمت کٹاؤ اور سطح کو کھردرا ہونے سے روکتی ہے، جس سے فلم کی مستقل شکل اور جزو کی طویل زندگی کو یقینی بنایا جاتا ہے۔ یہ استحکام ایل ای ڈی، پاور، اور آر ایف ڈیوائس کی تیاری کے لیے زیادہ متوقع نمو کے حالات اور اعلی آلات کے تھرو پٹ میں براہ راست ترجمہ کرتا ہے۔

SiC لیپت گریفائٹ ٹرے بازی، آکسیڈیشن، اینیلنگ، اور تیز تھرمل پروسیسنگ (RTP) ماحول میں بھی اہم کردار ادا کرتی ہے۔ اعلی درجہ حرارت کے ان اقدامات کے دوران، ٹرے ایک سپورٹ پلیٹ فارم کے طور پر کام کرتی ہے جو ویفر کی سیدھ کو برقرار رکھتی ہے، آکسیڈیشن کے خلاف مزاحمت کرتی ہے، اور تھرمل مسخ کو کم کرتی ہے۔ اس کی اعلی تھرمل چالکتا تیز رفتار اور یکساں گرمی کی منتقلی کی اجازت دیتی ہے، درست درجہ حرارت کو کنٹرول کرنے اور ویفرز پر تھرمل تناؤ کو کم کرنے کے قابل بناتی ہے۔ SiC رکاوٹ باہر گیس اور دھات کی آلودگی سے مزید تحفظ فراہم کرتی ہے — جدید ڈیوائس مینوفیکچرنگ میں پیداوار کے نقصان کی دو بنیادی وجوہات۔

ان تمام ایپلی کیشنز میں، Semixlab SiC کوٹڈ گریفائٹ ٹرے نہ صرف ایک مکینیکل فکسچر کے طور پر کام کرتی ہے بلکہ ایک درست انجینئرڈ پراسیس انٹرفیس کے طور پر کام کرتی ہے جو پورے مینوفیکچرنگ مرحلے کے تھرمل، کیمیکل اور صفائی کے استحکام کی وضاحت کرتا ہے۔ اعلی درجے کی CVD کوٹنگ ٹیکنالوجی، اعلی پاکیزگی کے مواد کے انتخاب، اور سخت جیومیٹرک کنٹرول کو ملا کر، Semixlab ایسے اجزاء فراہم کرتا ہے جو جدید سیمی کنڈکٹر فیبس کے سخت بھروسے اور صفائی کے معیار پر پورا اترتے ہیں۔ ہر ٹرے کو ایک سے زیادہ عمل کے چکروں میں دوبارہ پیدا کرنے کے قابل کارکردگی کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے، جو عالمی مینوفیکچررز کے لیے آلہ کی اعلی پیداوار، کم خرابی کی کثافت، اور آلات کے توسیعی وقت کے لیے درکار مستقل مزاجی اور پائیداری فراہم کرتا ہے۔

ہماری خدمات

Semixlab مصنوعات کی دکان

جانچ

انکوائری

گرم زمرے