ایل ای ڈی ایپیٹیکسی سسیپٹر

LED Epitaxy کے لیے Semixlab SiC Coated Graphite Susceptor میں تھرمل استحکام کے لیے ایک اعلی کثافت گریفائٹ بیس اور سنکنرن مزاحمت کے لیے ایک گھنے CVD SiC کوٹنگ (Ra ≤0.2 μm) کی خصوصیات ہیں۔ یہ ڈھانچہ LED MOCVD ایپیٹیکسی میں یکساں حرارت کی منتقلی، کیمیائی جڑت اور طویل مدتی وشوسنییتا کو یقینی بناتا ہے۔

ایل ای ڈی ایپیٹیکسی کے عمل کے اندر، ایس آئی سی کوٹڈ گریفائٹ سسپٹر نہ صرف مکینیکل ویفر ہولڈر کے طور پر بلکہ MOCVD سسٹم کے بنیادی تھرمل اور کیمیائی کنٹرول عنصر کے طور پر کام کرتا ہے۔ یہ RF یا مزاحمتی حرارتی ماڈیول سے ان پٹ تھرمل توانائی کو ایک سے زیادہ ویفر پوزیشنوں پر درست طریقے سے تقسیم شدہ اور مستحکم درجہ حرارت والے فیلڈ میں ترجمہ کرنے کے لیے ذمہ دار ہے۔ سسپٹر کی اعلی تھرمل چالکتا اور بہتر اخراج کا پروفائل مسلسل ویفر ٹو ویفر اور انٹرا ویفر درجہ حرارت کی یکسانیت کو یقینی بناتا ہے- GaN اور AlGaInP فلم کی موٹائی، ڈوپینٹ ارتکاز، اور کرسٹل کوالٹی پر سخت کنٹرول حاصل کرنے کے لیے ایک لازمی شرط۔

ایک ہی وقت میں، SiC کوٹنگ ایک مضبوط کیمیائی رکاوٹ فراہم کرتی ہے جو بنیادی گریفائٹ کو ہائیڈروجن کی کمی، امونیا کے سنکنرن، اور دھاتی نامیاتی پیشگی رد عمل سے بچاتی ہے۔ یہ تحفظ نہ صرف سسپٹر کی سروس لائف کو بڑھاتا ہے بلکہ کاربن پرجاتیوں کے اخراج کو بھی روکتا ہے جو بڑھتی ہوئی ایپیٹیکسیل تہوں کو آلودہ کر سکتی ہیں یا تیار شدہ ایل ای ڈی چپس میں چمکیلی کارکردگی کو کم کر سکتی ہیں۔ نتیجہ صاف ستھرا رد عمل کا ماحول ہے، دیکھ بھال کی فریکوئنسی میں کمی، اور طویل مدتی عمل کے استحکام میں بہتری ہے۔

مزید برآں، سسپٹر کی سطح کی درستگی اور جیومیٹرک یکسانیت MOCVD چیمبر کے اندر گیس کے مسلسل بہاؤ اور پیشگی تقسیم کو برقرار رکھنے میں فیصلہ کن کردار ادا کرتی ہے۔ یہاں تک کہ منصوبہ بندی یا کوٹنگ کی ساخت میں بھی باریک انحراف باؤنڈری پرت کے تغیرات اور مقامی فلم کی موٹائی میں عدم یکسانیت کا باعث بن سکتے ہیں۔ Semixlab کی ملکیتی کوٹنگ اور سطح کو ختم کرنے والی ٹیکنالوجیز کا فائدہ اٹھاتے ہوئے، ہر سسپٹر غیر معمولی ہم آہنگی اور ہم آہنگی حاصل کرتا ہے، یکساں گیس کی حرکیات، بہترین رد عمل کینیٹکس، اور دہرائی جانے والی ایپیٹیکسیل فلم کی خصوصیات کو یقینی بناتا ہے۔

جوہر میں، سیمکس لیب SiC کوٹڈ گریفائٹ سسپٹر تھرمل سٹیبلائزر اور آلودگی کی ڈھال دونوں کے طور پر کام کرتا ہے، جو براہ راست LED پیداوار اور مواد کے معیار کو متاثر کرتا ہے۔ اس کا جدید ساختی ڈیزائن اور کوٹنگ ٹیکنالوجی سیمی کنڈکٹر مینوفیکچررز کو جدید MOCVD پروڈکشن لائنوں میں اعلی پیداواری صلاحیت، بہتر عمل تولیدی صلاحیت، اور ملکیت کی کم لاگت حاصل کرنے کے لیے بااختیار بناتی ہے۔