سلیکن کاربائیڈ فرنس ٹیوب

Semixlab الٹرا ہائی پیوریٹی SiC فرنس ٹیوب سسٹم، 99.9999% کوٹنگ پیوریٹی اور مکمل لائن ڈیلیوری کے ساتھ سیمی کنڈکٹر گریڈ تھرمل فیلڈ سلوشنز فراہم کرتا ہے۔

بنیادی قدر کی تجویز

ویفر مینوفیکچرنگ کے لیے صفر آلودگی والا تھرمل ماحول فراہم کریں: سبسٹریٹ کی 99.9% SiC پاکیزگی + CVD کوٹنگ کی 99.9999% پاکیزگی، مکمل SiC کینٹیلیور پیڈل اور ویفر بوٹ سسٹم کے ساتھ مل کر، عمل کے چیمبر میں صفر دھاتی آلودگی حاصل کرنے کے لیے۔

مصنوعات کے مختلف نام:

ہائی ٹمپریچر SiC فرنس ٹیوب؛ سلکان کاربائیڈ ٹیوب؛ ہائی پیوریٹی SiC ٹیوب؛ ڈفیوژن فرنس کے لیے سلکان کاربائیڈ ٹیوب؛ بازی اور LPCVD عمل کے لیے سلیکن کاربائیڈ ٹیوب؛ RTP کے لیے SiC ٹیوب، آکسیڈیشن کے لیے SiC ٹیوب

بنیادی وضاحتیں:

مواد کی پاکیزگی: بنیادی مواد سلکان کاربائیڈ ہے جس کی طہارت 99.9% سے زیادہ ہے، اور CVD کوٹنگ کے بعد پاکیزگی 99.9999% (6N گریڈ) سے زیادہ ہے۔

تھرمل کارکردگی: زیادہ سے زیادہ آپریٹنگ درجہ حرارت 1650℃ (طویل مدتی)، تھرمل توسیع کا گتانک: 4.6×10⁻⁶/℃، مستقل درجہ حرارت کے زون میں یکسانیت: ±1.5℃ (1200℃)؛

مکینیکل طاقت: موڑنے کی طاقت 450Mpa (کمرے کے درجہ حرارت پر)۔

اہم استعمال

تھرمل فیلڈ کیریئر

1200℃ سے 1650℃ کی حد کے اندر ایک مستحکم اور یکساں درجہ حرارت کا میدان قائم کریں (مستقل درجہ حرارت کے زون میں درجہ حرارت کا فرق ≤±1.5℃ ہے)

عمل کی تھرموڈینامک حالات جیسے بازی، آکسیکرن اور اینیلنگ کو یقینی بنائیں۔

آلودگی کی تنہائی کی رکاوٹ

اعلی پاکیزگی والے مواد (جیسے SiC) کے ذریعے دھاتی آئنوں (جیسے Fe/Ni/Cu، وغیرہ) کے پھیلاؤ کو روکیں۔

عمل گیسوں اور بیرونی ماحول کے درمیان کراس آلودگی کو روکیں۔

گیس چینل پر کارروائی کریں۔

ری ایکشن گیسوں کے بہاؤ کی سمت اور تقسیم کو درست طریقے سے کنٹرول کریں (جیسے O₂/N₂/SiH₄، وغیرہ)

ویفر کی سطح پر یکساں گیس فیز ری ایکشن حاصل کریں (جیسے SiO₂ گروتھ)۔

فوٹو وولٹک کوٹنگ: TOPCon/HJT سیل PECVD پروسیس ویفر ٹرانسپورٹ کو سپورٹ کریں۔

درخواست منظرنامے

● Epitaxy

● آکسیکرن/ بازی

● LPCVD/PECVD عمل

● III-V کمپاؤنڈ سیمی کنڈکٹرز کی اینیلنگ

صنعت کے درد کے نکات کے حل

ہمارے حل ہمارے صارفین کے درد کے نکات کو حل کرتے ہیں:

1. اعلی درجہ حرارت کے عمل کے ذرہ آلودگی: 6N کوٹنگ ناپاکی کی ترسیب کو روکتی ہے۔

کوارٹج اجزاء میں بار بار SiC کی تبدیلی سنکنرن مزاحمت کو 8 گنا بڑھا دیتی ہے۔

2. SiC مواد کی پوری سیریز میں تھرمل فیلڈ کے اجزاء کی تھرمل توسیع کے لیے CTE مستقل مزاجی کا ڈیزائن۔

3. ویفر کی پشت پر دھات کی آلودگی کا الٹرا پالش سطح کا علاج (Ra 0.2μm)۔

اجزاء کی تکنیکی خصوصیات کے بنیادی فوائد:

1. SiC فرنس ٹیوب - بنیادی مواد کی پاکیزگی: 99.9٪ سنٹرڈ سلکان کاربائیڈ

▶ تھرمل جھٹکا مزاحمت 3 گنا بڑھا ہوا ہے (تیز ٹھنڈک> 1600℃)

تھرمل توسیع کا گتانک 4.6×10⁻⁶/℃ تک کم ہے۔

نانوسکل کوٹنگ - 6N-گریڈ ہائی پیوریٹی SiC کا CVD جمع (99.9999%)

▶ Fe اور Ni جیسی دھاتوں کے پھیلاؤ کو روکنا

▶ سطح کی کھردری Ra <0.5μm

2. SiC ویفر بوٹ - 12 انچ ویفرز کے ساتھ ہم آہنگ

- ملٹی لیئر لوڈ بیئرنگ ڈیزائن

▶ فرنس ٹیوبوں کے ساتھ 100% تھرمل میچنگ

ویفر کی آلودگی کی شرح 0.01 پی پی بی سے کم ہے۔

3. کینٹیلیور پیڈل سسٹم - isostatic گریفائٹ سبسٹریٹ +SiC کوٹنگ

- خودکار سیدھ کی درستگی ±0.1 ملی میٹر

▶ کریپ مزاحمتی زندگی> 100,000 بار

ٹرانسمیشن کمپن 5μm سے کم ہے۔

خلل ڈالنے والی تکنیکی جھلکیاں

پاکیزگی کا انقلاب

دو سطحی تحفظ کا نظام

ایک اعلی طاقت کا فریم ورک بنانے کے لیے بنیادی پرت 99.9% SiC → ہے۔

فنکشنل پرت میں 6N-سطح کا CVD-SiC ایک ایٹم لیول سیل بناتا ہے
رکاوٹ

نجاست کنٹرول: Na/K <0.1ppm، بھاری دھاتیں <5ppb، 28nm سے کم عمل کی ضروریات کو پورا کرتی ہیں۔

سسٹم کی ہم آہنگی کا فائدہ

● تھرمل فیلڈ کی یکسانیت: فرنس ٹیوب + ویفر بوٹ + پیڈل بلیڈ کا ٹرپل تھرمل کپلنگ ڈیزائن، مستقل درجہ حرارت زون (> 1200℃) میں درجہ حرارت کا فرق ≤±1.5℃ ہے

● عمر کو دوگنا کرنا: مکمل حل ہائبرڈ سسٹم کے مقابلے میں عمر کو 40% تک بڑھاتا ہے، MTBA 8,000 گھنٹے سے زیادہ ہے۔