سی وی ڈی کوٹنگز سیمی کنڈکٹر ایچنگ کے عمل میں آلودگی کو کیسے کم کرتی ہیں۔

سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں، یہاں تک کہ سب سے چھوٹی آلودگی بھی بڑی پریشانیوں کا سبب بن سکتی ہے۔ اینچنگ مرحلے کے دوران یہ بہت سچ ہے۔ اس مقام پر، چھوٹے ذرات یا خراب رد عمل آلہ کو نقصان پہنچا سکتے ہیں۔ وہ یہ بھی کم کر سکتے ہیں کہ کتنی اچھی مصنوعات سامنے آئیں۔ ان مسائل کو کم کرنے کا ایک طریقہ استعمال کرنا ہے۔CVD (کیمیائی بخارات کا ذخیرہ) کوٹنگز. یہ کوٹنگز اینچنگ چیمبر میں حصوں کی حفاظت کرتی ہیں۔ وہ چیزوں کو صاف رکھنے، پہننے سے روکنے اور نقائص کو کم کرنے میں مدد کرتے ہیں۔

پلازما اینچنگ چیمبرز میں آلودگی کا مسئلہ

پلازما اینچنگ چپس بنانے کا ایک بنیادی قدم ہے، لیکن یہ ایک بڑے چیلنج کے ساتھ آتا ہے: آلودگی۔ اینچنگ مواد کو ٹھیک سے ہٹانے کے لیے گیسوں اور پلازما کا استعمال کرتی ہے۔ لیکن یہ سخت حالات چیمبر کے حصوں کو بھی نقصان پہنچا سکتے ہیں۔ جیسے جیسے پرزے ختم ہوجاتے ہیں، چھوٹے ذرات یا فلیکس چھلک کر ویفر کی سطح پر اتر سکتے ہیں۔ ایک بار ایسا ہو جانے کے بعد، نقائص بن جاتے ہیں- اور ان کو بعد میں ٹھیک کرنا اکثر ناممکن ہو جاتا ہے۔

آلودگی کی ایک عام وجہ چیمبر کی دیواریں یا حصے ہیں جو براہ راست پلازما کو چھوتے ہیں۔ وقت گزرنے کے ساتھ، پلازما ان سطحوں کے ساتھ رد عمل ظاہر کرتا ہے، آہستہ آہستہ انہیں کھا جاتا ہے۔ اس سے ذرات چیمبر میں گر سکتے ہیں یا ناپسندیدہ کیمیکل بنا سکتے ہیں۔ یہاں تک کہ جو حصے ہموار نظر آتے ہیں وہ خوردبین کے نیچے کھردرے ہو سکتے ہیں، جس سے ذرات چپک جاتے ہیں یا جمع ہوتے ہیں۔

ایک اور مسئلہ عمل کے رن کے درمیان کراس آلودگی ہے۔ مثال کے طور پر، اگر چیمبر کو صاف نہیں کیا گیا یا اسے مناسب طریقے سے ڈھانپا نہیں گیا تو ایک ویفر سے بچا ہوا سامان اگلے پر مل سکتا ہے۔ یہ ایک بڑا مسئلہ بن جاتا ہے کیونکہ چپ کی خصوصیات سائز میں سکڑ جاتی ہیں۔ جو کبھی ایک چھوٹا سا عیب تھا وہ اب ایڈوانسڈ نوڈس میں ایک اہم راستے کو روک سکتا ہے یا مختصر کر سکتا ہے۔

بہت سی فیکٹریاں اکثر چیمبر کی صفائی یا پرزے تبدیل کرکے اسے ٹھیک کرنے کی کوشش کرتی ہیں۔ لیکن یہ وقت اور پیسہ لیتا ہے. یہ بنیادی مسئلہ کو بھی ٹھیک نہیں کرتا — پلازما سے ہونے والے نقصان۔ یہی وجہ ہے کہ وہ حفاظتی کوٹنگز استعمال کرتے ہیں۔ یہ ملمع کاری ان حصوں کو ڈھانپ کر شروع ہونے سے پہلے نقصان کو روکنے میں مدد کرتی ہیں جو سب سے زیادہ متاثر ہوتے ہیں۔

حفاظتی رکاوٹ کے طور پر سی وی ڈی کوٹنگز: ایکشن میں SiC اور TaC

اس کے شروع ہونے سے پہلے آلودگی کو روکنے کے لیے، بہت سے چپم سازوں کا رخ کرتے ہیں۔سی وی ڈی کوٹنگز. چیمبر کے پرزوں کو نقصان اور کیمیکلز سے بچانے کے لیے ان میں باریک پرتیں ڈالی جاتی ہیں۔ اس کام کے لیے دو انتہائی قابل اعتماد مواد ہیں۔سلکان کاربائیڈ (SiC)اورٹینٹلم کاربائیڈ (ٹی اے سی). وہ صرف سخت نہیں ہیں - وہ جارحانہ پلازما ماحول میں بھی مستحکم ہیں۔

SiC استعمال کیا جاتا ہے کیونکہ یہ گرمی کو اچھی طرح سے سنبھالتا ہے اور گیسوں کے ساتھ رد عمل کے خلاف مزاحمت کرتا ہے۔ پرزوں پر سی وی ڈی لیپت سی سی ایک مضبوط سطح بناتی ہے جو آسانی سے نہیں پہنتی۔ بہت سے اینچ سائیکلوں کے بعد بھی، یہ ہموار اور صاف رہتا ہے، اس لیے ویفرز پر کم ذرات گرتے ہیں۔

ٹی اے سی اس وقت استعمال ہوتا ہے جب اینچنگ کا عمل اور بھی سخت ہوتا ہے۔ یہ مضبوط پلازما اور سخت ہالوجن گیسوں کے ساتھ اچھی طرح کام کرتا ہے۔ اس کی گھنی ساخت اور اونچی پگھلنے والی جگہ اسے خاص طور پر سنکنرن کے خلاف مزاحم بناتی ہے۔ کچھ جدید آلات میں،ٹی اے سی کوٹنگزدھات کی آلودگی کو کم کرنے میں مدد کریں۔ یہ تیز منطق اور میموری چپس بنانے کے لیے اہم ہے۔

یہ کوٹنگز پلازما اور حصے کے درمیان رکاوٹ بنا کر کام کرتی ہیں۔ یہ حصہ زیادہ دیر تک چلنے میں مدد کرتا ہے اور چیمبر کو مستحکم رکھتا ہے۔ یہ انجینئرز کو پرزے صاف کرنے یا تبدیل کرنے کے لیے رکے بغیر زیادہ دیر تک چلانے دیتا ہے۔

اس کے بارے میں اپنے فون پر اسکرین پروٹیکٹر لگانے کی طرح سوچیں۔ یہ فون کے کام کرنے کے طریقے کو تبدیل نہیں کرتا ہے، لیکن یہ ہٹ لیتا ہے لہذا آپ کی اسکرین کو اس کی ضرورت نہیں ہے۔ تصویر:

اینچنگ کی بہتر کارکردگی اور دیکھ بھال کے کم اخراجات

سی وی ڈی کوٹنگزجیسا کہ SiC اور TaC حصوں کو محفوظ رکھتا ہے، اینچنگ کو ہموار کرنے میں مدد کرتا ہے، اور اس کا مطلب ہے کہ کم فکسنگ کی ضرورت ہے۔ جب چیمبر کے پرزے اچھی حالت میں رہتے ہیں تو اینچنگ زیادہ مستقل ہوجاتی ہے۔ اس کا مطلب ہے کہ زیادہ ویفرز کوالٹی چیک پاس کرتے ہیں، اور نقائص کی وجہ سے کم پھینک دیے جاتے ہیں۔

مستحکم چیمبر کے حالات دہرائے جانے والے نتائج کے لیے کلیدی ہیں۔ کوٹنگز کے بغیر، چیمبر کے پرزے آہستہ آہستہ گر جاتے ہیں۔ یہ گیس کے بہاؤ، گرمی کے پھیلاؤ، اور پلازما کے رویے کو تبدیل کر سکتا ہے۔ یہ تبدیلیاں شروع میں چھوٹی ہو سکتی ہیں لیکن وقت کے ساتھ ساتھ مختلف نتائج کا باعث بن سکتی ہیں۔ لیپت شدہ پرزے چیمبر کو ایک ویفر سے دوسرے ویفر تک زیادہ قابل اعتبار رکھ کر اس سے بچنے میں مدد کرتے ہیں۔

اس کے اوپری حصے میں، CVD لیپت پرزے تبدیل کرنے کی ضرورت سے پہلے زیادہ دیر تک چلتے ہیں۔ بغیر کوٹڈ ٹولز کو صفائی کے لیے مزید سٹاپ کی ضرورت ہوتی ہے، جس کی وجہ سے تاخیر ہوتی ہے۔ لیپت حصے زیادہ دیر تک چلتے ہیں، ڈاون ٹائم اور اضافی کام کو کم کرتے ہیں۔

حقیقی دنیا کے فیبس نے یہ ادائیگی دیکھی ہے۔ مثال کے طور پر، ایک چپ بنانے والی کمپنی نے سادہ ایلومینیم کی بجائے SiC کوٹڈ رِنگز کا استعمال کیا اور اسے 40% زیادہ رن ٹائم ملا۔ اس نے ڈاؤن ٹائم کو کم کیا اور ویفر کی پیداوار کو مزید مستحکم رکھا۔

یہ ایک واضح معاملہ ہے کہ "تھوڑا زیادہ آگے خرچ کریں، وقت کے ساتھ بہت کچھ بچائیں۔" CVD کوٹنگز حصوں کو محفوظ اور صاف رکھتی ہیں، لہذا انجینئرز کام پر توجہ مرکوز کر سکتے ہیں، چیزوں کو ٹھیک کرنے پر نہیں۔

اپنے Etch سسٹم کے لیے Semixlab کی کوٹنگ کی صلاحیتوں کو دریافت کریں۔

اگر آپ اپنے اینچ سسٹم سے زیادہ حاصل کرنا چاہتے ہیں، تو یہ کسی ایسے شخص کے ساتھ کام کرنے میں مدد کرتا ہے جو مواد اور عمل کو جانتا ہو۔ Semixlab CVD کوٹنگز جیسے SiC اور TaC بناتا ہے، جو اینچنگ ٹولز کے لیے بنایا جاتا ہے اور اصلی فیکٹریوں میں آزمایا جاتا ہے۔

جو چیز Semixlab کو مختلف بناتی ہے وہ ان کی کسٹم سروس ہے۔ وہ ایلومینیم کی انگوٹھیوں یا گریفائٹ کیریئرز کی طرح بہت سی شکلوں اور حصوں کو کوٹ کر سکتے ہیں۔ کوٹنگز ہموار، مضبوط اور آپ کی ضروریات کے مطابق بنائی گئی ہیں۔ کوٹنگ کا تمام کام صاف، کنٹرول شدہ کمروں میں کیا جاتا ہے، اس لیے کوئی نئی گندگی یا ذرات اندر نہیں آتے۔

بہت سے فیب استعمال شدہ پرزوں کو براہ راست تبدیل کرنے کے بجائے دوبارہ کوٹنگ کے لیے بھیجتے ہیں۔ یہ طریقہ نہ صرف پیسہ بچاتا ہے بلکہ فضلہ کو کم کرنے میں بھی مدد کرتا ہے۔ Semixlab ہر حصے کو چیک کرتا ہے تاکہ یہ یقینی بنایا جا سکے کہ یہ اب بھی مضبوط ہے۔ اگر یہ گزر جاتا ہے، تو وہ اسے صاف کرتے ہیں، اسے کوٹ دیتے ہیں، اور اسے واپس بھیج دیتے ہیں — دوبارہ استعمال کے لیے تیار ہیں۔ اس سے پرزوں کو کارکردگی کھونے کے بغیر زیادہ دیر تک چلنے میں مدد ملتی ہے۔

Semixlab کے ساتھ کام کرنے والے انجینئرز کو کوٹنگز سے زیادہ کچھ ملتا ہے۔ اس بات کا یقین نہیں ہے کہ کون سا مواد آپ کی گیسوں میں فٹ بیٹھتا ہے؟ جاننا چاہتے ہیں کہ یہ آپ کے پلازما کے ساتھ کب تک رہتا ہے؟ ان کی ٹیم اس کی جانچ کر سکتی ہے یا آپ کو منتخب کرنے میں مدد کے لیے ڈیٹا کو چیک کر سکتی ہے۔

اگر آپ لیپت پرزے آزمانا چاہتے ہیں، تو چیک کریں کہ اب آپ کتنا وقت اور ویفرز ضائع کرتے ہیں۔ کوٹنگز آپ دونوں کو بچانے میں مدد کر سکتی ہیں۔