0200-06508 ٹاپ سیرامک ​​شیلڈ 300 ملی میٹر

0200-06508 ٹاپ سیرامک ​​شیلڈ 300 ملی میٹر ایک سیمی کنڈکٹر گریڈ سیرامک ​​شیلڈنگ جزو ہے جو جدید پلازما پروسیسنگ چیمبرز میں استعمال ہوتا ہے۔ ساختی طور پر، یہ پلازما کا سامنا کرنے والے سیرامک ​​تحفظ کے اجزاء کے زمرے سے تعلق رکھتا ہے جو سیمی کنڈکٹر آلات کے پلیٹ فارم کے اندر اوپری چیمبر اسمبلیوں میں ضم ہوتا ہے۔

روایتی مکینیکل شیلڈز کے برعکس، یہ سیرامک ​​جزو بیک وقت متعدد عمل کے اہم کام انجام دیتا ہے۔ یہ نہ صرف پلازما کے کٹاؤ کے خلاف جسمانی حفاظتی رکاوٹ کے طور پر کام کرتا ہے، بلکہ ایک چیمبر کنڈیشننگ جزو کے طور پر بھی کام کرتا ہے جو سیمی کنڈکٹر ویفر پروسیسنگ کے دوران پلازما کے استحکام، RF فیلڈ کی مستقل مزاجی، اور آلودگی پر قابو پانے میں معاون ہے۔

مادی خصوصیات اور فوائد

جارحانہ سیمی کنڈکٹر پلازما ماحول کا مقابلہ کرنے کے لیے، 0200-06508 ٹاپ سیرامک ​​شیلڈ 300 ملی میٹر عام طور پر پلازما کی پائیداری، تھرمل استحکام اور کم آلودگی کی کارکردگی کے لیے انجنیئر کردہ اعلی پاکیزگی والے اعلیٰ سیرامک ​​مواد کا استعمال کرتے ہوئے تیار کی جاتی ہے۔

عام مادی نظام میں شامل ہو سکتے ہیں:

●ہائی پیوریٹی ایلومینا (Al₂O₃)

●Y₂O₃-کوٹیڈ ایلومینا۔

●Silicon Carbide (SiC) سیرامکس

● ایلومینیم نائٹرائڈ (AlN)

ان مواد میں سے، اعلیٰ طہارت والا ایلومینا اپنی بہترین برقی موصلیت کی خصوصیات، مضبوط پلازما مزاحمت، اور مستحکم مکینیکل کارکردگی کی وجہ سے سب سے زیادہ اپنایا جانے والا حل ہے۔

1. بہترین پلازما مزاحمت

سیمی کنڈکٹر پلازما کے عمل میں اکثر جارحانہ فلورین کیمسٹری جیسے CF₄، NF₃، اور فلورو کاربن گیسیں شامل ہوتی ہیں۔ اعلی درجے کے سیرامک ​​مواد پلازما کے کٹاؤ کے خلاف مضبوط مزاحمت فراہم کرتے ہیں، سطح کے انحطاط کو کم کرنے میں مدد کرتے ہیں اور مسلسل پلازما کی نمائش کے تحت اجزاء کی زندگی کو بڑھاتے ہیں۔

2. کم پارٹیکل جنریشن

اعلی درجے کی سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ذرہ آلودگی سب سے اہم خدشات میں سے ایک ہے۔ درست سیرامک ​​پروسیسنگ اور بہتر سطح کی فنشنگ ٹیکنالوجیز چیمبر کے آپریشن کے دوران ذرات کے بہانے، پھٹنے اور سطح کے فلکنگ کو کم کرنے میں مدد کرتی ہیں۔

3. مستحکم ڈائی الیکٹرک کارکردگی

سیمی کنڈکٹر سیرامکس کی ڈائی الیکٹرک خصوصیات چیمبر کے اندر آر ایف کپلنگ اور پلازما کے رویے کو براہ راست متاثر کرتی ہیں۔ مستحکم ڈائی الیکٹرک خصوصیات پلازما کی کثافت کی مسلسل تقسیم کو برقرار رکھنے اور پیداواری چکروں میں عمل کی تکرار کو بہتر بنانے میں مدد کرتی ہیں۔

4. ہائی تھرمل استحکام

سرامک مواد بلند درجہ حرارت اور بار بار تھرمل سائیکلنگ کے حالات میں جہتی استحکام کو برقرار رکھتا ہے۔ ان کی کم تھرمل اخترتی خصوصیات چیمبر کے مستحکم آپریشن اور قابل اعتماد طویل مدتی عمل کی کارکردگی میں معاون ہیں۔

5. سیمی کنڈکٹر گریڈ پیوریٹی

فرنٹ اینڈ ویفر پروسیسنگ ایپلی کیشنز کے دوران ٹریس میٹل آلودگی کے خطرات کو کم کرنے کے لیے سیمی کنڈکٹر سیرامک ​​اجزاء کو مضبوطی سے کنٹرول شدہ ناپاکی کی سطح کے ساتھ تیار کیا جاتا ہے۔

بنیادی عمل کے افعال

0200-06508 ٹاپ سیرامک ​​شیلڈ 300 ملی میٹر کے سب سے اہم کاموں میں سے ایک چیمبر پروٹیکشن ہے۔ پلازما پروسیسنگ کے دوران، اوپری چیمبر اسمبلی مسلسل توانائی بخش آئنوں اور رد عمل والے پلازما پرجاتیوں کے سامنے آتی ہے جو چیمبر کی سطحوں کو تیزی سے ختم کر سکتی ہے۔ سیرامک ​​شیلڈ ایک حفاظتی رکاوٹ کے طور پر کام کرتی ہے جو مہنگے چیمبر کے اجزاء پر براہ راست پلازما حملے کو کم کرتی ہے، جس سے چیمبر کی زندگی کو بڑھانے اور دیکھ بھال کی کم تعدد میں مدد ملتی ہے۔

جزو پلازما کے استحکام میں بھی اہم کردار ادا کرتا ہے۔ چونکہ پلازما کا رویہ چیمبر جیومیٹری اور ڈائی الیکٹرک ڈسٹری بیوشن سے سخت متاثر ہوتا ہے، لہٰذا سیرامک ​​شیلڈ مستحکم RF فیلڈ کی تشکیل اور چیمبر کے اندر پلازما کی قید میں حصہ ڈالتی ہے۔ یہ پلازما کی یکسانیت کو بہتر بنانے میں مدد کرتا ہے اور ویفر پراسیسنگ کے زیادہ مستقل نتائج کی حمایت کرتا ہے۔

اس کے علاوہ، سیرامک ​​شیلڈ چیمبر کے اندر آلودگی اور ذرات کی پیداوار کو کم کرنے میں مدد کرتا ہے۔ تھوکنے اور کیمیائی حملے کے خلاف اعلی مزاحمت کے ساتھ ایک مستحکم پلازما کا سامنا کرنے والی سطح فراہم کرکے، یہ جزو صاف چیمبر کے حالات کو برقرار رکھنے اور ویفر کی مجموعی پیداوار کو بہتر بنانے میں مدد کرتا ہے۔

ایک اور اہم فعل عمل کی تکرار ہے۔ چونکہ سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ جدید نوڈس اور سخت عمل رواداری کی طرف بڑھ رہی ہے، چیمبر کی مستقل مزاجی تیزی سے اہم ہوتی جارہی ہے۔ سیرامک ​​شیلڈ توسیع شدہ پروڈکشن سائیکلوں کے دوران چیمبر کے مستحکم حالات کو برقرار رکھنے، چیمبر کی مماثلت کو بہتر بنانے اور بحالی کے وقفوں کے درمیان عمل کے بڑھنے کو کم کرنے میں مدد کرتی ہے۔

Semixlab سیرامک ​​حل

Semixlab پلازما ایچ، ڈیپوزیشن، اور ایڈوانس ویفر پروسیسنگ ایپلی کیشنز کے لیے انجنیئر کردہ اعلیٰ کارکردگی والے سیمی کنڈکٹر سیرامک ​​اجزاء فراہم کرتا ہے۔ ہمارے سیمی کنڈکٹر سیرامک ​​اسپیئر پارٹس کو سخت جہتی رواداری کنٹرول، سیمی کنڈکٹر گریڈ میٹریل پیوریٹی، اور جدید سیمی کنڈکٹر فیبریکیشن ماحول کی مطلوبہ ضروریات کو پورا کرنے کے لیے جدید سطح کی فنشنگ ٹیکنالوجیز کے ساتھ تیار کیا گیا ہے۔

ہم سیمی کنڈکٹر OEMs، ویفر فیبس، اور آلات کی تجدید کاری فراہم کرنے والوں کو اس کے ساتھ سپورٹ کرتے ہیں:

● صحت سے متعلق سیرامک ​​مشینی

● پلازما مزاحم سیرامک ​​حل

●سیمک کنڈکٹر چیمبر استعمال کی اشیاء

● اعلی طہارت سیرامک ​​اسپیئر پارٹس

● اعلی درجے کی سطح کے علاج کی ٹیکنالوجیز

●سیمک کنڈکٹر عمل جزو حسب ضرورت