EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
غیر محفوظ سیرامک ویکیوم چک
فوری تفصیل:
1. دیگر نام: غیر محفوظ سیرامک ویکیوم چک، غیر محفوظ ایس سی چک، غیر محفوظ چک۔
2. ایپلی کیشن: اعلی کارکردگی والا ویکیوم جذب کرنے والا آلہ جو ویفرز اور انگوٹوں کے درست جذب اور فکسشن کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے، جو سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ، ویفر کٹنگ، پریزیشن مشیننگ، ہائی ٹمپریچر ایپیٹیکسی، ایچنگ، آئن امپلانٹیشن اور دیگر منظرناموں کے لیے موزوں ہے۔
3. بنیادی پیرامیٹرز:
پوروسیٹی سایڈست (10-200μm)۔
انتہائی اعلی درجہ حرارت (≤1600°C)، بہترین تھرمل جھٹکا مزاحمت۔
جذب ویکیوم: معیاری -90kPa (100kPa میں اپنی مرضی کے مطابق کیا جا سکتا ہے)۔
سکشن کپ سائز: سپورٹ 4/6/8/12 انچ ویفرز، انگوٹ سائز اپنی مرضی کے مطابق کیا جا سکتا ہے.
تفصیل
سیرامک ویکیوم چک ایک اعلی کارکردگی والا ویکیوم جذب کرنے والا آلہ ہے جو ویفرز اور انگوٹوں کے درست جذب اور فکسشن کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ یہ یکساں جذب قوت کی تقسیم اور اعلی استحکام حاصل کرنے کے لیے ہوا کے چینلز اور چھیدوں کے حسب ضرورت ڈیزائن کے ساتھ مل کر غیر محفوظ سیرامک + دھات کی بیرونی انگوٹھی کا ایک جامع ڈھانچہ اپناتا ہے۔ سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ، ویفر کٹنگ، پریزیشن مشیننگ اور دیگر منظرناموں کے لیے موزوں، اعلی درجہ حرارت، تیز رفتار حرکت کے ماحول کو سپورٹ کرتا ہے، مختلف سائز کے ویفرز/انگوٹ کی مطابقت کی ضروریات کو پورا کر سکتا ہے۔
اپنی مرضی کے مطابق خدمت
سائز اور لوڈ حسب ضرورت
سٹوماٹا اور ایئر وے کی اصلاح
خصوصی ماحول کی موافقت
ڈیزائن کی مثال
درخواستیں
سیمی کنڈکٹر فیبریکیشن
ایپیٹیکسیل نمو: تیز درجہ حرارت پر ایس آئی سی ویفرز کا مستحکم جذب تاکہ وارپنگ اور آلودگی سے بچا جا سکے۔
لتھوگرافی اور اینچنگ: تیز رفتار حرکت پذیر پلیٹ فارم (ایکسلریشن ≤10G) میں درست پوزیشننگ تاکہ گرافک الائنمنٹ کی درستگی کو یقینی بنایا جا سکے۔
پنڈ پروسیسنگ
کاٹنا اور پیسنا: بھاری کرسٹل پنڈ (جیسے نیلم، سلکان کاربائیڈ پنڈ) کو جذب کرنے کے لیے کمپن کی وجہ سے کنارے کی کریکنگ کو دبانا۔
سائنسی تحقیق اور خصوصی ٹیکنالوجی
اعلی درجہ حرارت کی اینیلنگ: غیر محفوظ سلکان کاربائیڈ سکشن کپ 1600 ° C پر طویل عرصے تک کام کرتے ہیں، بغیر کسی خرابی اور آلودگی کے۔
ویکیوم کوٹنگ: ہائی ٹائٹنیس ڈیزائن، PVD/CVD گہا کے ماحول کے ساتھ ہم آہنگ۔
مسابقتی فائدہ
بنیادی ڈھانچہ اور مادی فوائد
1. ملٹی لیئر کمپوزٹ ڈیزائن
سطح کی تہہ: غیر محفوظ سیرامک (اختیاری غیر محفوظ سلکان کاربائیڈ یا غیر محفوظ گریفائٹ)، یپرچر ایڈجسٹ ایبل (10-200μm) مقامی تناؤ کے ارتکاز سے بچنے کے لیے ویفر سطح پر جذب قوت کی یکساں منتقلی کو یقینی بنانے کے لیے۔
میٹرکس: ساختی سپورٹ اور ہوا کی تنگی فراہم کرنے کے لیے ہائی سخت دھاتی فریم (سٹینلیس سٹیل یا ایلومینیم مرکب)۔
ایئر وے اور پورز: عین مطابق مشینی ایئر ویز کا اندرونی نیٹ ورک اور یکساں طور پر تقسیم شدہ مائکرو پورز تیزی سے ویکیوم نکالنے (-90kPa تک جذب کرنے کی قوت) اور فوری رہائی کی حمایت کرتے ہیں۔
2. مادی خصوصیات کا موازنہ
| مواد | غیر محفوظ سلکان کاربائیڈ | غیر محفوظ گریفائٹ |
| درجہ حرارت مزاحمت | انتہائی اعلی درجہ حرارت (≤1600°C)، بہترین تھرمل جھٹکا مزاحمت | درمیانہ اعلی درجہ حرارت (≤800°C)، بہتر تھرمل چالکتا |
| کیمیائی استحکام | تیزاب اور الکلی سنکنرن مزاحمت، پلازما سنکنرن مزاحمت | غیر آکسائڈائزنگ گیسوں کے خلاف مزاحم، کم قیمت |
| قابل اطلاق منظر | اعلی درجہ حرارت ایپیٹیکسی، اینچنگ، آئن امپلانٹیشن | ویفر کاٹنا، پیسنا، پیکیجنگ |
3. کلیدی کارکردگی اور تکنیکی پیرامیٹرز
| تفصیل | تبصرہ |
| چک سائز۔ | سپورٹ 4/6/8/12 انچ ویفرز، انگوٹ سائز اپنی مرضی کے مطابق کیا جا سکتا ہے |
| لوڈنگ | سنگل پلیٹ زیادہ سے زیادہ بوجھ 50 کلوگرام (اونچائی ≤300 ملی میٹر) |
| کام کر رہے ہیں درجہ حرارت | غیر محفوظ سلکان کاربائیڈ: -50°C~1600°C; غیر محفوظ گریفائٹ: -50°C~800°C |
| جذب ویکیوم | معیاری -90kPa (اپنی مرضی کے مطابق -100kPa) |
اکثر پوچھے جانے والے سوالات
سوال: غیر محفوظ سلکان کاربائیڈ اور غیر محفوظ گریفائٹ چک کا انتخاب کیسے کریں؟ اعلی درجہ حرارت کے عمل میں غیر محفوظ سلکان کاربائیڈ اور غیر محفوظ گریفائٹ چک کے درمیان بنیادی فرق کیا ہیں؟ درخواست کے منظر نامے کے لیے صحیح مواد کا انتخاب کیسے کریں؟
A: غیر محفوظ سلکان کاربائیڈ چک:
درجہ حرارت کی مزاحمت: انتہائی اعلی درجہ حرارت ≤1600 ° C (جیسے SiC ایپیٹیکسی، اعلی درجہ حرارت اینیلنگ)، بہترین تھرمل جھٹکا مزاحمت، سخت درجہ حرارت کے اتار چڑھاو کے منظر کے لیے موزوں طور پر کام کر سکتا ہے۔
سنکنرن مزاحمت: مضبوط تیزاب، الکلی اور پلازما کے کٹاؤ کے خلاف مزاحمت، اینچنگ، آئن امپلانٹیشن اور دیگر سنکنرن گیس کے عمل کے لیے موزوں۔
غیر محفوظ گریفائٹ چک:
تھرمل چالکتا: اعلی تھرمل چالکتا (200-400 W/m·K)، ایسے منظرناموں کے لیے موزوں ہے جن میں تیز حرارت کی منتقلی کی ضرورت ہوتی ہے (جیسے ویفر کٹنگ گرمی کی کھپت)۔
معیشت: کم قیمت، ≤800 ° C درمیانے درجہ حرارت کے ماحول کے لیے موزوں ہے (جیسے پیکیجنگ، پیسنا)۔
انتخاب کی تجاویز:
اگر عمل کا درجہ حرارت > 800 ° C ہے یا سنکنرن مزاحمت کی ضرورت ہے تو، غیر محفوظ سلکان کاربائیڈ کو ترجیح دی جاتی ہے۔ سرمایہ کاری مؤثر اور کم عمل درجہ حرارت کے حصول، غیر محفوظ گریفائٹ منتخب کر سکتے ہیں تو.
