کلیمپ رنگ 0200-15001

AMAT 0200-15001 کلیمپ رنگ اپلائیڈ میٹریلز (AMAT) سیمی کنڈکٹر آلات کے چیمبروں میں کلیدی ساختی اجزاء میں سے ایک ہے۔ یہ ایک اعلی پاکیزگی ایلومینا (Al₂O₃) سیرامک ​​کلیمپنگ/کمپریشن جزو ہے جو بڑے پیمانے پر جمع کرنے اور اینچنگ پروسیس ماڈیولز میں استعمال ہوتا ہے۔ اس کی بنیادی قدر رد عمل میں براہ راست شرکت میں نہیں ہے، بلکہ چیمبر کے ساختی استحکام اور عمل کے ماحول کی مستقل مزاجی کو برقرار رکھنے میں ہے۔

1. پروڈکٹ کا جائزہ اور مادی خصوصیات (Al₂O₃)

● پروڈکٹ کا نام: AMAT 0200-15001 کلیمپ رنگ

● زمرہ: چیمبر سیرامک ​​کلیمپ رنگ / چیمبر کلیمپ جزو

● مواد: اعلیٰ پاکیزہ ایلومینا سیرامک ​​(Al₂O₃)

2. سیمی کنڈکٹر آلات میں بنیادی افعال

AMAT چیمبر کے ڈھانچے کے اندر، یہ کلیمپ رنگ بنیادی طور پر مکینیکل تحمل اور عمل کے استحکام کی یقین دہانی کے کام کرتا ہے:

① ساختی فکسیشن اور چیمبر کلیمپنگ

اہم چیمبر کے اجزاء کو محفوظ طریقے سے ٹھیک کرنے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے، بشمول:

● کوارٹج (کوارٹج اجزاء)

● لائنر (چیمبر استر)

کنارے کی انگوٹی (کنارے کی انگوٹی کی ساخت)

شاور ہیڈ (گیس کی تقسیم کا ڈھانچہ)

عین مطابق کلیمپنگ تھرمل توسیع یا ویکیوم تناؤ کی وجہ سے ساختی غلط ترتیب کو روکتا ہے۔

② پلازما یونیفارمٹی کنٹرول

کلیمپ رنگ کی ہندسی درستگی براہ راست متاثر کرتی ہے:

● الیکٹرک فیلڈ کی تقسیم کا توازن

● پلازما کی کثافت کی یکسانیت

●Edge اثر کنٹرول کی صلاحیت

یہ اعلی درجے کے عمل (≤28 nm) کے لیے خاص طور پر اہم ہے۔

③ پارٹیکل کنٹرول اور پیداوار کی یقین دہانی

ساختی استحکام مائکرو کمپن اور رگڑ کو کم کرتا ہے، اس طرح کم سے کم:

● مائیکرو پارٹیکل جنریشن

● wafer کنارے آلودگی

● خرابی کی کثافت میں اتار چڑھاؤ

3. عام ناکامی کے طریقے (ناکامی کا تجزیہ)

آلات کی دیکھ بھال اور تجدید کاری میں Semixlab کے تجربے کی بنیاد پر، اس قسم کے Al₂O₃ Clamp Ring کے لیے عام ناکامی کے طریقوں میں شامل ہیں:

① پلازما کا کٹاؤ

رد عمل گیس کے ماحول میں طویل مدتی نمائش کا سبب بنتا ہے:

●سطح کو کھردرا کرنا

● مٹیریل پھٹنا

● ذرہ کی رہائی میں اضافہ

② تھرمل اسٹریس کریکنگ

درجہ حرارت کی تیز رفتار تبدیلیوں کی وجہ سے (تھرمل سائیکلنگ):

● مائکرو کریکس کی تشکیل اور پھیلاؤ

● ساختی طاقت میں کمی

● فریکچر کا ممکنہ خطرہ

③ ایج چپنگ

عام طور پر ایسے معاملات میں دیکھا جاتا ہے:

● غیر مساوی تنصیب کشیدگی

●غیر مناسب ٹارک کنٹرول

● مکینیکل اثر

④ پارٹیکل آؤٹ گیسنگ میں ناکامی۔

سطح کے انحطاط کے بعد Al₂O₃ ذرات کا اخراج:

●Wafer کی خرابی کی شرح میں اضافہ

● تنگ عمل ونڈو

⑤ جہتی بہاؤ

طویل مدتی تھرمل لوڈنگ کی وجہ سے مائکرو ساختی تبدیلیاں:

● سیدھ کی درستگی میں کمی

● خراب چیمبر سگ ماہی