0200-10377 رنگ سنگل 195mm DPS چیمبر

اعلی پیوریٹی سیمی کنڈکٹر-گریڈ سیرامک ​​مواد اور درست مشینی ٹیکنالوجی کے ساتھ تیار کردہ، یہ سیرامک ​​رنگ جزو پلازما کے کٹاؤ، تھرمل سائیکلنگ، اور جارحانہ خشک اینچنگ ماحول میں پارٹیکل جنریشن کے خلاف غیر معمولی مزاحمت پیش کرتا ہے۔

AMAT 0200-10377 رنگ سنگل 195mm DPS چیمبر ایک درست سیرامک ​​رنگ کا جزو ہے جو بنیادی طور پر 200mm ویفر پروسیسنگ ایپلی کیشنز کے لیے AMAT DPS (ڈیکپلڈ پلازما سورس) سسٹمز میں استعمال ہوتا ہے۔

کلیدی خصوصیات:

● اعلی طہارت سیرامک ​​مواد

● بہترین RF پلازما مطابقت

● کم آلودگی اور ذرہ پیدا کرنا

● اعلی پلازما کٹاؤ مزاحمت

● اعلی مکینیکل اور تھرمل استحکام

● DPS چیمبر کے انضمام کے لیے درستگی کی مشینی

AMAT DPS سسٹمز میں کردار

AMAT DPS پلازما ایچنگ سسٹمز میں، رنگ سنگل 195mm سیرامک ​​اجزاء پلازما کنٹرول اور چیمبر کے تحفظ کے اہم حصے کے طور پر کام کرتا ہے۔

پلازما ایج کنٹرول

سیرامک ​​انگوٹی ویفر کنارے کے قریب پلازما کی تقسیم کو بہتر بنانے، ایچنگ کی یکسانیت کو بہتر بنانے اور ہائی ڈینسٹی پلازما پروسیسنگ کے دوران کنارے کے عمل کے انحراف کو کم کرنے میں مدد کرتی ہے۔

ESC اور چیمبر پروٹیکشن

الیکٹرو سٹیٹک چک (ESC) ایریا کے ارد گرد نصب کیا گیا، انگوٹھی جارحانہ پلازما کیمسٹری کے خلاف حفاظتی رکاوٹ کے طور پر کام کرتی ہے، جس سے چیمبر کے کٹاؤ کو کم کرنے میں مدد ملتی ہے اور اجزاء کی زندگی کو بڑھاتا ہے۔

آر ایف پلازما اسٹیبلائزیشن

مستحکم ڈائی الیکٹرک خصوصیات کے ساتھ، سیرامک ​​رنگ DPS چیمبر کے اندر بہتر RF کپلنگ اور پلازما کے استحکام میں معاون ہے۔

آلودگی میں کمی

اس کا اعلی پاکیزہ سیرامک ​​ڈھانچہ ذرہ پیدا کرنے اور دھات کی آلودگی کو کم کرتا ہے، اعلی درجے کے سیمی کنڈکٹر کے عمل کی صفائی کی ضروریات کو سپورٹ کرتا ہے۔

سیمی کنڈکٹر کے عمل میں عام ایپلی کیشنز

AMAT 0200-10377 رنگ سنگل 195mm DPS چیمبر بڑے پیمانے پر ایڈوانس ڈرائی ایچنگ اور پلازما پروسیسنگ ایپلی کیشنز میں استعمال ہوتا ہے، بشمول:

ڈائی الیکٹرک اینچنگ: آکسائڈ اور ڈائی الیکٹرک لیئر اینچنگ کے عمل کے دوران پلازما کے مستحکم رویے کی حمایت کرتا ہے۔

آکسائیڈ اور کانٹیکٹ ایچ: اینچ کی یکسانیت اور ویفر ایج کنٹرول کو رابطے میں اور تشکیل کے عمل کے ذریعے بہتر بنانے میں مدد کرتا ہے۔

دھاتی کندہ کاری: دھاتی پلازما اینچنگ ماحول میں چیمبر تحفظ اور عمل استحکام فراہم کرتا ہے۔

اعلی درجے کی پلازما پروسیسنگ: اعلی کثافت پلازما ایپلی کیشنز کے لئے موزوں ہے جس میں کم ذرہ آلودگی اور مستحکم RF کارکردگی کی ضرورت ہوتی ہے۔

200 ملی میٹر سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ: سیمی کنڈکٹر فیبس میں 8 انچ ویفرز کو پروسیس کرنے والے AMAT DPS سسٹمز کے لیے آپٹمائزڈ۔

کیوں Semixlab؟

Semixlab پلازما اینچنگ، جمع کرنے، اور تھرمل پروسیسنگ کے آلات کے لیے جدید سیمی کنڈکٹر سیرامک ​​اجزاء میں مہارت رکھتا ہے۔

ہم مہیا کرتے ہیں:

● سیمی کنڈکٹر گریڈ سیرامک ​​مواد

● صحت سے متعلق مشینی صلاحیتیں۔

● OEM کے موافق سیمی کنڈکٹر حصے

● مستحکم کوالٹی کنٹرول

● حسب ضرورت سیرامک ​​حل

ہمارا مشن سیمی کنڈکٹر مینوفیکچررز کی اگلی نسل کے ویفر فیبریکیشن آلات کے لیے قابل اعتماد، اعلیٰ کارکردگی والے مادی حل کے ساتھ مدد کرنا ہے۔