ہائی پیوریٹی SiC ویفر بوٹ

4-12 انچ فیبریکیشن کے لیے آپٹمائزڈ تھرمل فیلڈ سلوشنز

معروف فیبس کوارٹز سے SiC بوٹس میں کیوں تبدیل ہو رہے ہیں؟

کوارٹز سے برتر جو کہ ڈیویٹریفیکیشن کی وجہ سے 1150∘C پر ناگزیر طور پر ناکام ہو جاتا ہے، ہماری SiC کشتیاں انتہائی تھرمل تناؤ میں مطلق ہندسی درستگی کو برقرار رکھتی ہیں۔ اس کی اعلی کثافت کی بدولت، CVD SiC میٹرکس اپنی پٹریوں میں ذرات کو بہانا روکتا ہے۔ یہ خاص طور پر آج کے ذیلی مائکرون فیبریکیشن کے عمل کے 'صفر-سیاحت' کے مطالبات کو سنبھالنے کے لیے بنایا گیا ہے۔

ہمارے اجزاء جارحانہ HF/HNO3 صفائی کو کوارٹز سے کہیں زیادہ بہتر طریقے سے ہینڈل کرتے ہیں، زیادہ دیر تک چلتے ہیں اور متبادل اخراجات کو کم کرتے ہیں۔ تیز رفتار، حتیٰ کہ گرم کرنے کے لیے بہترین تھرمل مینجمنٹ کے ساتھ، وہ اعلیٰ حجم کی پیداوار میں 4 انچ سے 12 انچ ویفرز کے لیے درکار عمل کو استحکام فراہم کرتے ہیں۔

ماہر بصیرت

روایتی گریفائٹ کشتیوں کے برعکس جو سطح کی کوٹنگز پر بہت زیادہ جھکتی ہیں، Semixlab کا یک سنگی SiC-on-SiC فن تعمیر سبسٹریٹ اور جلد کے درمیان ساختی "بے مماثلت" کو ختم کرتا ہے۔ پورے یونٹ میں توسیعی گتانکوں کو یکجا کر کے، ہم نے صنعت کے دائمی سر درد کو ختم کر دیا ہے۔ 8 انچ اور 12 انچ ہائی والیوم فیبس کے لیے، یہ صرف ایک میٹریل اپ گریڈ نہیں ہے - یہ ایک TCO انقلاب ہے۔ سروس لائف 5x معیاری کوارٹز سے زیادہ ہونے کے ساتھ، ہماری ٹھوس SiC کشتیاں قابل استعمال لاگت کو طویل مدتی پیداواری اثاثے میں تبدیل کرتی ہیں۔

تکنیکی تفصیلات اور حسب ضرورت

ہم آپ کے مخصوص فرنس سیٹ اپ میں فٹ ہونے کے لیے ہر چیز کو تیار کر سکتے ہیں — خواہ افقی ہو یا عمودی — اور آپ کی عین مطابق ویفر ہینڈلنگ کی ضروریات کو ایڈجسٹ کر سکتے ہیں۔

عام درخواستیں 

ہماری SiC کشتیاں مشکل ترین حالات کے لیے بنائی گئی ہیں۔ وہ H2 ایچنگ کے باوجود Si/SiC Epitaxy کے دوران اپنی شکل کو بالکل ٹھیک رکھتے ہیں، اور ان کی اعلی پاکیزگی پھیلاؤ کے عمل کے لیے زندگی بچانے والی ہے جہاں آلودگی ایک خطرہ ہے۔ ALD اور LPCVD کے لیے، وہ ایک مستحکم تھرمل ماس کے طور پر کام کرتے ہیں تاکہ اس بات کو یقینی بنایا جا سکے کہ فلم کے تمام ویفرز میں یکساں طور پر جمع ہوں۔

SiC بوٹ کی کوٹنگ کے لیے CVD عمل کا منصوبہ، 7N پاکیزگی اور یکساں کثافت کو یقینی بنانا

1) 7N Ultra-High Purity (CVD Encapsulation) بنیادی کوٹنگ کے بجائے، ہم 99.99999% کی عالمی پیوریٹی میں لاک کرنے کے لیے ہائی ڈینسٹی CVD SiC انکیپسولیشن کا استعمال کرتے ہیں۔ ہائی وولٹیج پاور ڈیوائسز جیسے IGBTs اور MOSFETs کے لیے، یہ اختیاری نہیں ہے — یہ دھاتی نجاست (Fe, Ni, Cu) کو تباہ کن رساو کے کرنٹ کو متحرک کرنے سے روکنے کا واحد طریقہ ہے۔

2) پریسجن-انجینئرڈ سلاٹ جیومیٹری ہم ایسا نہیں کرتے ہیں "ایک سائز سب پر فٹ بیٹھتا ہے۔" چاہے آپ کو ایک معیاری V-grove یا نازک، پتلی ویفر ہینڈلنگ کے لیے خصوصی U- سلاٹ کی ضرورت ہو، ہمارے CNC سینٹرز ایک سخت ±0.05mm تک رواداری رکھتے ہیں۔ یہ انتہائی درستگی منبع پر ہلچل مچانے والے ویفر کو مار دیتی ہے اور تیز رفتار روبوٹک منتقلی کے دوران کنارے کے تناؤ کو کم کرتی ہے۔

3) آپٹمائزڈ ڈیوٹی سائیکل اور سی ٹی ای میچنگ لیپت کشتیوں میں سب سے بڑا ناکامی کا مقام ڈیلامینیشن ہے۔ ہم نے سبسٹریٹ کے تھرمل ایکسپینشن (CTE) کے کوفیشینٹ کو مکمل طور پر آئینہ دینے کے لیے کوٹنگ کی بانڈنگ کی طاقت کو ٹیوننگ کر کے اسے حل کیا ہے۔ نتیجہ؟ ایک کشتی جو آکسیڈیشن اور ڈفیوژن بھٹیوں میں مسلسل تھرمل سائیکلنگ کے دوران کوٹنگ فلکنگ یا بیس میٹریل سے دور چھیلنے کے بغیر زندہ رہتی ہے۔