0200-36680 اپر گیس ڈسٹ لائنر

AMAT 0200-36680 اپر گیس ڈسٹ لائنر ایک درست کوارٹج چیمبر جزو ہے جو اپلائیڈ میٹریلز (AMAT) سیمی کنڈکٹر جمع کرنے کے نظام کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ پلازما سے بہتر پروسیس چیمبرز کے اوپری گیس کی تقسیم کے علاقے میں نصب یہ لائنر پلازما کی یکسانیت، گیس کے بہاؤ کے استحکام، RF عمل کی مستقل مزاجی، اور جدید ویفر فیبریکیشن کے دوران آلودگی کو کنٹرول کرنے میں اہم کردار ادا کرتا ہے۔

اعلی پاکیزگی والے فیوزڈ کوارٹز سے تیار کردہ، جزو کو جارحانہ پلازما ماحول، تھرمل سائیکلنگ، اور عام طور پر PECVD اور CVD ایپلی کیشنز میں پائے جانے والے ری ایکٹو سیمی کنڈکٹر پراسیس کیمسٹری کا مقابلہ کرنے کے لیے انجنیئر کیا گیا ہے۔

Semixlab میں، ہم قابل بھروسہ سیمی کنڈکٹر چیمبر کے استعمال کی اشیاء اور درست عمل کے پرزے فراہم کرتے ہیں جو دنیا بھر میں سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کی سہولیات کے لیے ساز و سامان کے مستحکم آپریشن، احتیاطی دیکھ بھال، اور طویل مدتی عمل کی تکرار کی سہولت فراہم کرتے ہیں۔

مصنوعات کی بنیادی معلومات

AMAT 0200-36680 لائنر عام طور پر AMAT پلازما جمع کرنے کے نظام کے اندر چیمبر گیس ڈسٹری بیوشن فن تعمیر کے حصے کے طور پر استعمال ہوتا ہے۔ یہ عام طور پر اوپری گیس کی تقسیم کی اسمبلیوں سے منسلک ہوتا ہے جہاں پراسیس گیسوں اور RF پلازما کے تعاملات کو قطعی طور پر کنٹرول کیا جانا چاہیے۔

پلازما کا سامنا کرنے والے قابل استعمال جزو کے طور پر، لائنر عام سیمی کنڈکٹر پروڈکشن سائیکل کے دوران جمع ہونے، تھرمل تناؤ، اور چیمبر کی صفائی کی نمائش سے مشروط ہے۔

مصنوعات کی ساخت اور خصوصیات

1. اعلی طہارت کوارٹج کی تعمیر

AMAT 0200-36680 اپر گیس ڈسٹ لائنر انتہائی اعلیٰ پیوریٹی فیوزڈ کوارٹج مواد سے بنا ہوا ہے جو خاص طور پر سیمی کنڈکٹر پلازما پروسیسنگ ماحول کے لیے منتخب کیا گیا ہے۔

کوارٹج بڑے پیمانے پر سیمی کنڈکٹر جمع کرنے والے چیمبروں میں استعمال ہوتا ہے کیونکہ یہ فراہم کرتا ہے:

● بہترین پلازما مزاحمت

● کم دھاتی آلودگی کا خطرہ

● ہائی تھرمل استحکام

● اعلیٰ ڈائی الیکٹرک موصلیت

● مضبوط RF شفافیت

● رد عمل والے چیمبر کیمسٹری کے ساتھ مطابقت

یہ مادی خصوصیات ہائی والیوم ویفر مینوفیکچرنگ کے دوران عمل کے مستحکم حالات کو برقرار رکھنے کے لیے ضروری ہیں۔

2. پریسجن انگوٹی کے سائز کا جیومیٹری

جیسا کہ پروڈکٹ کی تصویر میں دکھایا گیا ہے، لائنر میں ایک درست مشینی سرکلر رِنگ ڈھانچہ ہے جسے چیمبر گیس ڈسٹری بیوشن اسمبلی کے اندر انضمام کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔

جیومیٹری کو سپورٹ کرنے کے لیے بنایا گیا ہے:

● یکساں عمل گیس بازی

● مستحکم پلازما باؤنڈری کی تشکیل

● کنٹرول شدہ RF فیلڈ ڈسٹری بیوشن

● مسلسل چیمبر کے بہاؤ کی حرکیات

● آپٹمائزڈ ویفر ایج عمل کی کارکردگی

کوارٹج چیمبر ہارڈویئر کی جہتی درستگی سیمی کنڈکٹر آلات میں انتہائی اہم ہے کیونکہ چھوٹے ہندسی انحراف بھی پلازما کی ہم آہنگی اور فلم جمع کرنے کی یکسانیت کو متاثر کر سکتے ہیں۔

3. پلازما کا سامنا کرنے والی سطح کا ڈیزائن

اوپری گیس ڈسٹری بیوشن لائنر براہ راست پلازما پروسیسنگ ریجن میں کام کرتا ہے اور مسلسل اس کے سامنے رہتا ہے:

● رد عمل پلازما ریڈیکلز

● جمع ضمنی مصنوعات

● RF توانائی

● چیمبر کی صفائی کرنے والی گیسیں۔

● اعلی درجہ حرارت کے عمل کے چکر

چیمبر کے طویل مدتی استحکام کو سہارا دینے کے لیے، لائنر کی سطح کو کم سے کم کرنے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے:

● پارٹیکل جنریشن

● سطح کا کٹاؤ

● پلازما میں عدم استحکام

● جمع flaking

● آلودگی کی منتقلی۔

اس کی ہموار کوارٹج سطح چیمبر کی صفائی کو بہتر بنانے میں بھی مدد کرتی ہے اور توسیعی پروڈکشن رنز کے دوران دہرانے کی صلاحیت کو عمل میں لاتی ہے۔

4. سیمی کنڈکٹر کے عمل کے استحکام کے لیے انجینئرڈ

روایتی صنعتی کوارٹج اجزاء کے برعکس، سیمی کنڈکٹر چیمبر لائنرز کو انتہائی کنٹرول شدہ مینوفیکچرنگ حالات میں سخت عمل کی مطابقت کو برقرار رکھنا چاہیے۔

AMAT 0200-36680 لائنر کو سپورٹ کرنے کے لیے بنایا گیا ہے:

● مستحکم PECVD عمل کی کارکردگی

● مسلسل پلازما اگنیشن کی خصوصیات

● کنٹرول شدہ گیس رہائش کا وقت

● چیمبر کے بہاؤ میں کمی

● بہتر ویفر ٹو ویفر ریپیٹ ایبلٹی

یہ عوامل جدید سیمی کنڈکٹر فیبریکیشن ماحول میں اہم ہیں جہاں عمل کی یکسانیت براہ راست پیداوار اور ڈیوائس کی کارکردگی کو متاثر کرتی ہے۔

AMAT 0200-36680 اپر گیس ڈسٹ لائنر ایک اعلی پیوریٹی کوارٹج چیمبر کا جزو ہے جو سیمی کنڈکٹر PECVD اور CVD پروسیس سسٹم کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ اس کا ٹھیک سے انجنیئر ڈھانچہ گیس کی تقسیم کے استحکام، پلازما کنٹرول، RF مستقل مزاجی، اور اعلی درجے کے جمع کرنے والے چیمبروں کے اندر آلودگی میں کمی کی حمایت کرتا ہے۔

ایک اہم پلازما کا سامنا کرنے والے قابل استعمال ہونے کے ناطے، یہ کوارٹز لائنر چیمبر ریپیٹ ایبلٹی، عمل کی یکسانیت، اور سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کی وشوسنییتا کو برقرار رکھنے میں اہم کردار ادا کرتا ہے۔

Semixlab دنیا بھر میں جدید ویفر فیبریکیشن اور آلات کی دیکھ بھال کے کاموں میں معاونت کے لیے پیشہ ورانہ سیمی کنڈکٹر اسپیئر پارٹس اور چیمبر استعمال کی اشیاء فراہم کرتا ہے۔