ویکو ایپیٹیکسی مینٹیننس لمبی سی سی کوٹیڈ پارٹ لائف اسپین کے لیے

Veeco چپ بنانے والے میں، سی وی ڈی sic کوٹنگ ہر رن میں حصوں کو مسلسل گرمی، پلازما اور گیس کے بہاؤ کا نشانہ بنایا جاتا ہے۔ دھیرے دھیرے یہ تناؤ وقت کے ساتھ ساتھ حصوں کی سطح کو تبدیل کرتا ہے یہاں تک کہ اگر وہ ابھی بھی بصارت سے عاری ہوں۔ زیادہ تر پودوں کو پتہ چلا کہ کوٹنگ کی ظاہری شکل میں چھوٹی تبدیلیوں کے نتیجے میں زیادہ دھول، درجہ حرارت میں اتار چڑھاؤ اور مشین کی صفائی میں اضافہ ہوتا ہے۔ ایک مینوفیکچرنگ لائن نے صرف پرزوں کی دھلائی کے وقت کو تبدیل کرنے سے پتہ چلا کہ کیریئرز کو وقت سے پہلے پہننے سے روک دیا ہے، اور اس کے نتیجے میں طویل مدت تک زیادہ مستحکم چلنا ہے۔ دیکھ بھال کی صحیح عادات پر عمل کرنے سے، CVD TaC اور سی وی ڈی sic لیپت پرزے ایک قابل اعتماد اور دیرپا حصہ ہیں جو مشین کے استحکام اور نتائج کی مستقل مزاجی کو یقینی بناتے ہیں۔

Veeco EPIK Epitaxy آلات کے لیے احتیاطی دیکھ بھال کی تجاویز

Veeco مشینری کے لیے ایک اچھی طویل مدتی زندگی بہت زیادہ مرمت کے بجائے چھوٹی چیزوں پر زیادہ انحصار کرتی ہے جو آپ مستقل بنیادوں پر کرتے ہیں۔ بہت سے کوٹنگ کی ناکامی بہت آہستہ آہستہ ہوتی ہے اور انتباہی علامات کو محسوس کرنے کے قابل ہونے کا بہت بڑا اثر ہوتا ہے۔ ایک خاص تعداد میں رنز کے بعد پرزوں اور لائنرز کو معمول کے مطابق صاف کرنا اور چیک کرنا ایک عادت ہے جب تک کہ پرزے ناکام نہ ہو جائیں انتظار کرنے سے کہیں زیادہ فائدہ مند ہے۔

سطح کے احساس میں کوئی معمولی فرق یا رنگ کی تبدیلی ممکنہ طور پر زیادہ کام کرنے والی کوٹنگ کی نشاندہی کرتی ہے۔ ایک سہولت کو معمول کے حصے اور لائنر کی جانچ نہ کرنے کی وجہ سے درجہ حرارت کے مسائل کا سامنا کرنا پڑا اور پھر وہ صرف صفائی اور دوبارہ برابر کرکے درجہ حرارت کے ان مسائل کو درست کرنے میں کامیاب ہوئے۔

حصوں کو کیسے صاف کیا جاتا ہے یہ بھی اہم ہے۔ زوردار کیمیکلز یا صفائی کرنے والے ایجنٹ اور ضرورت سے زیادہ کھردری صفائی کی وجہ سے کوٹنگ بہت جلد خراب ہو جائے گی۔ نرم اور زیادہ درست صفائی کے طریقے خاص طور پر اعلی درجہ حرارت پر چلنے والے حصوں پر زیادہ مؤثر طریقے سے کام کرتے ہیں۔ جب مشین قابل قبول طریقے سے چل رہی ہو تو کچھ کارکن ہلکے صفائی کرنے والے ایجنٹوں کا استعمال کرتے ہیں اور صفائی کے مزید گہرائی کے عمل کو بالکل ضروری ہونے تک موخر کرتے ہیں۔

گیس کا بہاؤ دیکھ بھال کا ایک اور بھولا ہوا عمل ہو سکتا ہے اور اگرچہ یہ غیر معمولی معلوم ہو سکتا ہے، گیس کا غیر متوازن بہاؤ ہاٹ سپاٹ کی طرف لے جائے گا جو حصوں سے کوٹنگ پہنتے ہیں۔ رن سے پہلے اور بعد میں ایک فوری سینسر کی جانچ اس طرح کی ناکامیوں کو روکے گی۔ ٹھنڈک کے مراحل کو بالکل بھی تیز نہیں کرنا چاہیے۔ غلط طریقے سے ٹھنڈا ہونے والا حصہ حصہ کے مواد اور کوٹنگ کے درمیان تناؤ پیدا کرے گا۔ خاص طور پر مصروف دوڑ کے دوران ٹھنڈک کے مرحلے کو صرف چند اضافی منٹوں تک طول دینا ایک سہولت کے حصوں میں بہت چھوٹی دراڑ کو روکنے کے لیے پایا گیا۔

کوٹنگ کی خرابی کی وجہ سے کسی حصے کے ناکام ہونے کا اندازہ لگانے میں مشاہدات، نتائج اور طرز عمل کا ریکارڈ رکھنا بھی بہت فائدہ مند ہے۔ معمول کی دیکھ بھال کے عزم کے ساتھ، مشین میں شدید ناکامی کا خطرہ کم ہوتا ہے اور اس کے پرزے زیادہ دیر تک رہتے ہیں۔

Veeco اسپیئر پارٹس پیداوار کے استحکام اور عمل کی یکسانیت کو کیسے متاثر کرتے ہیں۔

جیسے جیسے آپ کے سامان کی عمر بڑھتی ہے اسپیئرز آہستہ آہستہ استحکام کو بدل دیتے ہیں۔ کیریئر رِنگز، لائنرز اور گیس پلیٹس جیسی اشیاء بہت بنیادی لگ سکتی ہیں لیکن ان کی حیثیت تھرمل توازن اور گیس کے بہاؤ کو تبدیل کرنے کے لیے براہ راست ذمہ دار ہے۔ ایک اسپیئر پارٹ کی حالت میں منٹ کی تبدیلیاں بدل دیں گی کہ گرمی کیسے پھیلتی ہے۔

ہم نے ویفرز کے بیرونی کناروں سے پیداوار کو آہستہ آہستہ کم کرنے کی ایک مثال دیکھی ہے جس کی وجہ ابتدائی طور پر ترکیب کے بڑھنے سے منسوب کی گئی تھی لیکن بعد میں اس کی تشخیص کی گئی تھی کہ خراب طور پر تیار کردہ اسپیئر پارٹس کی وجہ سے پہننے والے لیپت کیریئر کی انگوٹھیوں کی وجہ سے تھرمل ناہمواری پیدا ہوتی ہے۔ ایک بار جب اعلی معیار کے پرزے دوبارہ متعارف کرائے گئے تو تھرمل توازن بحال ہو گیا اور تمام پروڈکٹس بحال ہو گئے۔

اسی دلیل کا اطلاق گیس کے بہاؤ کے حصوں پر ہوتا ہے۔ گیس شاور ہیڈ جیسا آسان حصہ تھوڑا سا جھک سکتا ہے یا اس طرح بند ہو سکتا ہے کہ پورے چیمبر میں گیس کے بہاؤ میں بھی خلل پڑتا ہے اور اس وجہ سے ویفر کوٹنگ کی موٹائی متاثر ہوتی ہے۔ ایک سہولت میں انہوں نے دیکھا کہ ویفر کی موٹائی مسلسل بائیں سے دائیں منتقل ہو رہی تھی، اس کی وجہ پائی گئی ایک بوسیدہ گیس پلیٹ تھی جس نے بہت زیادہ گھنٹے آپریشن دیکھا تھا۔

ایک جیسے اجزاء کو استعمال کرنے سے اس قسم کی تبدیلی کو روکنے میں مدد ملے گی۔ پرزے استعمال کرنے کا جو اصل سامان کو اصل تصریح میں فٹ کرتا ہے اس کا مطلب ہے کہ سامان ہمیشہ ہر مرمت کے بعد اسی انداز میں کارکردگی کا مظاہرہ کرے گا۔ اسپیئر پارٹس کا ذخیرہ اور ہینڈلنگ بھی اہم ہو جاتا ہے۔ لیپت والا حصہ جو تھوڑی دیر کے لئے کھلے لیب کے ماحول میں بیٹھا ہے وہ دھول کو اپنی طرف متوجہ کرے گا۔

اس خطے میں چھوٹے ذرات تیزی سے اعلی درجہ حرارت کے عمل میں نقائص کی شکل اختیار کر سکتے ہیں۔ بہت سے کارخانے اب اپنے تمام اسپیئرز کو سیل بند کنٹینرز میں محفوظ کر رہے ہیں، جو صرف اس وقت تک کھلے ہیں جب تک کہ کسی حصے کو ٹول میں نصب کیا جائے۔

اسپیئرز کا شیڈولنگ بھی اہم ہے - بہت دیر سے چلائیں اور یہ نتائج کی ناقابل شناخت تبدیلی کا سبب بنتا ہے، لیکن بہت جلد انسٹال کریں اور پیسہ ضائع ہوتا ہے. گھنٹوں، تیز جانچ کی بنیاد پر ایک بہترین توازن حاصل کیا جا سکتا ہے۔

صفائی کے طریقے جو CVD SiC لیپت اجزاء پر پہننے کو کم کرتے ہیں۔

صفائی کے لیے ان لیپت حصوں کو متوازن کرنا اس پر آتا ہے۔ آپ کو اپنی کوٹنگ کو ہوشیار اور غیر نقصان پہنچاتے ہوئے دیرپا تعمیر سے چھٹکارا حاصل کرنا ہوگا۔ اگر کلین کو سخت کرنا ہے تو اس حصے کی سطح جلد ختم ہوجاتی ہے، اگر یہ بہت نرم ہے تو یہ معمول کی بات ہے کہ باقیات کا ایک پریشان کن حد تک جمع ہونا اور آپ کی دوڑ کو تباہ کرنا ہے۔

باقی کیمیکلز کی تہہ آہستہ آہستہ آپ کے حصے کی سطح کو گرم دوڑ کے دوران اوشیشوں کی پتلی فلم کے طور پر کوٹ کر لے گی۔ اگرچہ یہ ایک فطری واقعہ ہے جب مسئلہ اس وقت ہوتا ہے جب آپ اصل میں اس حصے سے کوٹنگ ہٹانا شروع کرتے ہیں۔

محفوظ صفائی کے عمل کا پہلا مرحلہ خشک صفائی ہے۔ حرارت اور گیس کی صفائی نسبتاً غیر کھرچنے والی باقیات کے نرم جمع کو ہٹانے کی اجازت دیتی ہے جو کہ نرم جمع ہونے کا ایک اچھا حل ہو سکتا ہے جو روشنی کے اضافے کے ساتھ مختصر دوڑ کے بعد موجود ہو سکتا ہے۔

مائع کی صفائی کی کسی بھی مثال کے لیے ہلکا کیمیکل ڈپ تیزابی حمام سے بہتر ہے۔ کئی ٹیمیں کم سے کم بھگونے کے اوقات میں پانی پلائے ہوئے کیمیکل استعمال کرتی ہیں۔ ایک سہولت نے بتایا کہ بھگونے کے اوقات کو تھوڑا سا چھوٹا کرنے سے حصے کی زندگی مہینوں تک بڑھ جاتی ہے کیونکہ کوٹنگ اپنی چمک نہیں کھوتی ہے۔

جسمانی نقطہ نظر کوٹنگ کے تحفظ کا ایک اور اہم جزو ہے۔ سکورنگ پیڈ، سخت برش، یا ہائی پریشر واٹر اسپرے کوٹنگ پر خوردبینی خروںچ متعارف کروا سکتے ہیں جو کوٹنگ کے چکر کے دوران دھول کا ذریعہ بن جاتے ہیں۔ مناسب کللا اور خشک سائیکل بھی انتہائی اہم ہیں؛ صفائی کے ایجنٹوں کی باقیات آپ کی کوٹنگ کو تیز گرمی میں کھا جائیں گی۔

صاف پانی سے کللا کریں اور اس کے بعد خشک ہونے کا عمل بھی کرنا چاہیے۔ کچھ پودے اس کے ارد گرد کام کرنے کا ایک طریقہ لباس کی سطح کی بنیاد پر اپنی صفائی کے عمل کو الگ کرنا ہے۔ ہلکی تعمیرات نرم صفائی کا استعمال کریں گی اور شدید تعمیر میں جارحانہ صفائی کا استعمال کیا جائے گا تاکہ مکمل طور پر مناسب حصوں کو غیر ضروری طور پر صاف کرنے سے بچایا جا سکے۔

آپٹمائزڈ تھرمل مینجمنٹ کے ذریعے سسیپٹر لائف ٹائم کو بڑھانا

ان سسٹمز کے کیریئرز کافی محنت کرتے ہیں۔ یہ آلات بالکل گرم ترین علاقے میں واقع ہیں، ویفرز کو پالتے ہیں اور درجہ حرارت کو بالکل یکساں رکھنے کی کوشش کرتے ہیں۔ ان اجزاء کی اکثریت کے لیے زیادہ تر لباس تھرمل تناؤ کی وجہ سے ہوتا ہے، نہ کہ ہینڈلنگ یا صفائی کی وجہ سے۔ درجہ حرارت کے مستحکم حالات زندگی کو بڑھانے کا بنیادی عنصر ہیں۔

تیز یا متضاد تھرمل تبدیلیاں سبسٹریٹ مواد اور کوٹنگ کی غیر مساوی توسیع کا سبب بنتی ہیں۔ یہ اہم اندرونی دباؤ کا سبب بنتا ہے. ایک پروڈکشن سہولت نے قبل از وقت کنارے کی دراڑیں دیکھی، کیونکہ کام کے بوجھ کی وجہ سے ان کا صبح کے درجہ حرارت کا ریمپ بہت تیز تھا، اور اس نے اپنے حرارتی وقت کو آسانی سے کنٹرول کیا۔

گرمی کو کم کرنے / ٹھنڈا کرنے کے اوقات کو تھوڑا سا حصہ میں تھرمل تناؤ کو ختم کرتا ہے۔ اس معمولی تبدیلی کا ان کے تھرو پٹ پر بہت کم اثر پڑا، جبکہ سطحوں کی زندگی کو نمایاں طور پر بڑھایا گیا۔ یہاں تک کہ گرمی کا پھیلاؤ بھی ایک کردار ادا کرتا ہے۔ اگر کیریئر کے مخصوص حصے مستقل طور پر گرم ہوتے ہیں، تو یہ حصے تیزی سے تنزلی اور ویفر کے نتائج کو برباد کر دیں گے اس سے پہلے کہ ظاہری سطح کے لباس کا پتہ چل جائے۔

باقاعدہ تھرمل پروفائل اسکین ناہموار درجہ حرارت کے مسائل کی آسانی سے شناخت کر سکتے ہیں۔ یہ تقریباً ہمیشہ ہی معمولی غلط ترتیب، غیر یکساں گیس کے بہاؤ یا انحطاط پذیر ہیٹر کا نتیجہ ہیں۔ کولنگ ٹائم کا کنٹرول بھی اتنا ہی اہم ہے۔ گرم سائیکل کے بعد پرزوں کو بہت تیزی سے ہٹانا بنیادی مواد کی کوٹنگ کو کھینچنے کا باعث بنے گا۔ ٹھنڈک کے وقت کو کم کرنے سے ضرورت سے زیادہ اندرونی تناؤ ختم ہو جاتا ہے۔ کچھ پروڈکشن ٹیمیں صرف زیادہ کام کے دوران ہی ٹھنڈک کے اوقات کو بڑھا سکتی ہیں۔

بہت سے اجزاء کے لیے ٹھنڈا کرنے کے وقت کی اضافی رقم کی لاگت کم سے کم ہے، پھر بھی ان کی زندگی میں کافی اضافہ ہوتا ہے۔ کیریئر اور دیگر اجزاء کی زندگی کو طول دینے کے لیے ایک اور مفید حکمت عملی جب بھی ممکن ہو بجلی کے درجہ حرارت کی مکمل تبدیلیوں سے بچنا ہے۔ نظام کو فوری طور پر معمولی رکنے کے لیے درجہ حرارت پر واپس لانے کے بجائے ڈاؤن ٹائم کے دوران معتدل درجہ حرارت پر کام کرنے سے تھرمل جھٹکا بہت کم ہو جائے گا۔

ذرات کی آلودگی سے پہلے سطح کے نقصان کی نشاندہی کرنا

لہذا، سطح کا نقصان عام طور پر خاموشی سے شروع ہوتا ہے، اس سے پہلے کہ یہ مشین کے اندر ایک خوفناک دھول کا مسئلہ پیدا کرے۔ مشکل یہ ہے کہ شروع میں پہننا آپ کے لیے بالکل بے ضرر نظر آئے گا، لیکن یہ پھر بھی خاموشی سے آپ کے عمل کے استحکام میں خلل ڈال رہا ہے۔ پہلا اشارہ پولش (یا سطح کی چمک) کا نقصان ہوگا۔

ایک اچھی کوٹنگ روشنی کے نیچے ہموار اور چمکدار نظر آئے گی، لیکن کوٹنگ کا ابتدائی لباس پھیکا یا سطح پر کچھ فاسد چمکدار نقطوں کے ساتھ ظاہر ہو سکتا ہے۔ ایک لائن میں موجود کارکنوں میں سے ایک نے صاف کرنے کے بعد ایک حصے پر ہلکی سی دودھ کی انگوٹھی دیکھی اور 2 ہفتے بعد تک اس کی پرواہ نہیں کی، اسی جگہ پر دھول کی تعداد میں بہت زیادہ اضافہ ہوا۔

ناہموار تعمیر ایک اور اشارہ ہوسکتا ہے۔ بچ جانے والی گندگی کسی مخصوص علاقے میں زیادہ جمع ہونا ایک اور اشارہ ہے، یہ بتا رہا ہے کہ یہ خطہ کھردرا ہونا شروع ہو گیا ہے۔ اس کا مطلب ہے کہ ایک اچھی اور ہموار سطح کے برعکس، تعمیر آسانی سے نہیں گرتی ہے۔

درجہ حرارت کی تبدیلیاں بھی آپ کو کچھ بتا سکتی ہیں۔ ویفر میں یکساں درجہ حرارت میں ایک چھوٹی سی تبدیلی کا مطلب یہ ہو سکتا ہے کہ سطح اب اپنا کردار صحیح طریقے سے ادا نہیں کر رہی ہے، اس سے پہلے کہ آپ واقعی کوئی نقصان دیکھ سکیں۔

ہم حصوں کو چھونا نہیں چاہتے ہیں (کیونکہ یہ یقینی طور پر دھول شروع کرے گا)، لیکن آپ ان خصوصیات کو بالواسطہ طور پر چیک کر سکتے ہیں۔ مثال کے طور پر، اگر آپ کے معیاری عمل سے کسی خاص حصے کو صاف کرنے کے لیے یہ کافی لمبا ہو جاتا ہے، تو اس کا عام طور پر مطلب ہے کہ سطح بدل گئی ہے اور اب ناہموار ہے۔

مشین کے اندر دھول کی گنتی کی نگرانی کرنا سب سے قابل اعتماد حفاظتی اقدامات میں سے ایک ہے جسے آپ لاگو کر سکتے ہیں، یہاں تک کہ چھوٹے سست اضافے کو بھی برداشت نہیں کیا جانا چاہیے۔ ایک گروپ نے ابتدائی مرحلے میں لائنر کی ناکامی کا پتہ چلا کیونکہ ٹوٹی ہوئی مشین کے بلند الارم کا انتظار کرنے کے بجائے کئی رنز پر اوپر کی طرف بہت سست رجحان دیکھنے کی وجہ سے۔

پرزہ جات کا ذخیرہ اور ہینڈلنگ ایک اہم عنصر ہے کیونکہ سخت مواد پر سطح پر معمولی خراش کے نتیجے میں گرم دوڑ پر دھول کا ایک بڑا ذریعہ بن سکتا ہے۔ اسی لیے آپ کو بہت سی مشینیں نظر آتی ہیں جن میں پارٹ اسٹوریج کے لیے مخصوص نرم ٹرے موجود ہیں۔