ہائی پیوریٹی سی وی ڈی لیپت پارٹس سٹوریج میں آلودگی کو روکنا

صاف پیدا کرنے کا مسئلہ اعلی طہارت CVD SiC خام مال پرزہ جات، اور انہیں ایپیٹیکسی سسٹم میں مینوفیکچرنگ سے لے کر انسٹالیشن تک صاف رکھنا بھی اہم ہے۔ دھول اور آلودگی کی ایک معمولی مقدار جو سٹوریج کے دوران جمع ہوتی ہے اس کے نتیجے میں ویفرز پر نقائص پیدا ہو سکتے ہیں، اور نظام کے شروع ہونے پر پیداوار کے دوران پیداوار میں کمی واقع ہو سکتی ہے۔ اکثر، مسائل سٹوریج سے پیدا ہوتے ہیں، مینوفیکچرنگ کے عمل سے نہیں۔ سٹوریج کی آلودگی کی ایک مثال کے طور پر، انجینئرز نے دیکھا کہ جب کھلے ورکشاپ کے دروازے سے ذخیرہ کیا جا رہا تھا تو صاف کیے گئے سسپٹر حصوں کو آلودہ کر دیا گیا تھا۔ پیداوار کے دوران عدم استحکام اس وقت پیدا ہوا جب آلات کو آن لائن واپس لایا گیا۔

CVD SiC اور CVD TaC کوٹنگ پارٹس کے لیے کلین روم پیکیجنگ کے معیارات

اعلی طہارت کی مناسب پیکیجنگ سی وی ڈی sic کوٹنگ or CVD TaC لیپت حصے صرف جسمانی نقصان کو روکنے سے زیادہ ہیں؛ یہ کوٹنگ کے دوران حاصل ہونے والی صاف سطح کی حفاظت کے لیے ہے۔ ٹریس پارٹیکیولیٹ جو آنکھ سے نہیں دیکھا جا سکتا ایپیٹیکسی کے دوران ویفر کے معیار پر منفی اثر ڈال سکتا ہے۔

کسی بھی پیکیجنگ کے طریقہ کار کا پہلا مرحلہ صاف ستھرا کمرے میں ہونا چاہیے، جس کا دباؤ مثبت ہو، اور اعلی کارکردگی والے ایئر فلٹرز کے ساتھ صاف ستھرا ماحول ہو۔ صاف کمرے کے لباس کو ہمیشہ پہننا چاہیے، بشمول ماسک، اور جلد کے ذرات، دھول یا ریشوں کو اجزاء میں منتقل کرنے سے بچنے کے لیے ہر وقت پاؤڈر سے پاک دستانے پہننا چاہیے۔

پیکیجنگ کے لیے استعمال ہونے والا مواد بھی اہم ہے۔ عام طور پر کلین روم پلاسٹک بیگ کی دو تہوں کو دوگنا اجزاء کی حفاظت کے لیے استعمال کیا جائے گا۔ تاہم، انتہائی نازک حصوں کے لیے ویکیوم یا نائٹروجن پیکیجنگ کا استعمال کیا جا سکتا ہے تاکہ نمی اور ماحولیاتی آلودگی دونوں کو مزید کم کیا جا سکے۔ استعمال ہونے والے حفاظتی جھاگ کو کلین روم کے محفوظ، کم باہر گیس کرنے والے مواد سے بھی بنایا جانا چاہیے تاکہ کسی اضافی آلودگی کو اسٹوریج سے جزو تک چھوڑا جا سکے۔

ایک بار سیل کرنے کے بعد، اجزاء کو صرف صاف کمرے میں پیکیجنگ ماحول سے ہٹا دیا جانا چاہئے، نہ کہ کھلی ورکشاپ میں. غیرمعمولی طور پر پیک کیے گئے جزو کو کھولنے سے وہ دوبارہ آلودہ ہو سکتا ہے جہاں پر جزو کو دوبارہ صاف کرنا ضروری ہے۔

مناسب طریقے سے پیکنگ کرنے سے، اجزاء پیداوار میں استعمال کے لیے صاف رہیں گے۔

ہائی پیوریٹی گریفائٹ ایپیٹیکسیل حصوں کے لیے مناسب ہینڈلنگ کے طریقے

اگرچہ اعلی پاکیزگی والے گریفائٹ حصے بہت پائیدار دکھائی دیتے ہیں، لیکن وہ اپنی سطح پر گندگی، تیل اور نمی کو پھنسانے کا خطرہ رکھتے ہیں۔ یہ آلودگی پورے حصوں کی زندگی کے دوران ناقابل شناخت رہ سکتے ہیں لیکن بعد کے مراحل میں ایپیٹاکسی کو متاثر کر سکتے ہیں۔

پاؤڈر سے پاک، صاف نائٹریل دستانے پہننے کے دوران پرزوں کو ہینڈلنگ ہمیشہ کرنا چاہیے۔ ننگے ہاتھوں کو کبھی بھی کسی بھی حصے کے ساتھ رابطے میں نہیں آنا چاہئے، کیونکہ جلد کے تیل خود کو اس حصے کی سطح سے بہت کم مقدار میں جوڑ دیتے ہیں اور بعد میں اسے سطح سے ہٹانا مشکل ہوسکتا ہے۔

حصوں کو بھی احتیاط سے ہینڈل کیا جانا چاہئے. انہیں صرف ان کے کناروں سے میز سے اٹھانے سے اس حصے میں خوردبین دراڑیں پڑ سکتی ہیں جو فوری طور پر ظاہر نہیں ہوسکتی ہیں لیکن گرم ہونے کے چند چکروں کے بعد ظاہر ہوسکتی ہیں، اور اگرچہ آپ اسے ہمیشہ نہیں دیکھ سکتے ہیں کہ ری ایکٹر کے اندر ذرات پیدا ہوسکتے ہیں۔

آپ کو ایسے ماحول میں بھی ہونا چاہیے جو مخصوص ایپلی کیشن کو سنبھالنے کے لیے موزوں اور صاف ہو۔ اگر پرزوں کو سنبھال کر ورک بینچ پر چھوڑ دیا جائے تو آپ کو انہیں دھات کی میز، گتے یا پلاسٹک کی کچی سطح پر بیٹھنے کی اجازت نہیں دینی چاہیے کیونکہ یہ حصے پر دھول اور ریشے بہا سکتے ہیں۔

پرزوں کو سنبھالنے کے دوران ہوا کے بہاؤ پر بھی غور کیا جانا چاہیے۔ پنکھے سے اس حصے پر اڑائی جانے والی دھول، یا اگر کوئی دروازہ کھلا ہے، تو پرزوں پر جمع ہو سکتا ہے، اور اسی لیے بہت سی سہولیات لیمینر فلو بینچ کے نیچے یا صاف ستھرا علاقے میں اپنے پرزوں کو سنبھالنے کے کام انجام دیتی ہیں۔

طویل مدتی اجزاء کے ذخیرہ کے دوران نمی اور آکسیڈیشن کے خطرات

جبکہ پرزے (جو اعلیٰ طہارت گریفائٹ سے بنے تھے) بہت اعلیٰ معیار کے لگ رہے تھے۔ پرزوں کی سطح پر گندگی، تیل اور نمی کا پھنس جانا اور پرزوں کی زندگی بھر ناقابل شناخت رہنا نسبتاً آسان ہے لیکن بعد کے مرحلے میں ایپیٹیکسی کو متاثر کرنا۔

پرزوں کی ہینڈلنگ ہمیشہ پاؤڈر سے پاک، صاف، نائٹریل دستانے کے ساتھ ہونی چاہیے۔ حصوں کو کبھی بھی ننگے ہاتھوں سے نہیں چھونا چاہیے، کیونکہ جلد کے تیل حصے کی سطح پر بہت کم مقدار میں جڑ جاتے ہیں، اور بعد کی تاریخ میں دوبارہ اترنا بہت مشکل ہوتا ہے۔

اس کے علاوہ حصوں کو ہمیشہ بہت زیادہ دیکھ بھال کے ساتھ سنبھالا جانا چاہئے۔ یہاں تک کہ صرف کناروں سے بنچ کے پرزوں کو اٹھانے کے نتیجے میں اس حصے میں خوردبین دراڑیں پیدا ہوسکتی ہیں جو اس وقت تک نظر نہیں آئیں گی جب تک کہ یہ حصہ چند تھرمل چکروں سے گزر نہ جائے، اور جب آپ دراڑیں نہیں دیکھ پائیں گے تو اس کے نتیجے میں ری ایکٹر کے اندر ذرات پیدا ہوسکتے ہیں۔

اس کے علاوہ آپ کو درخواست کے لیے ایک مناسب، صاف ماحول میں رہنے کی کوشش کرنی چاہیے۔ بینچ پر پڑے حصوں کو سنبھالنا اور چھوڑنا صرف اس صورت میں قابل قبول ہے جب دھاتی بینچ، گتے یا پلاسٹک کی غیر تیار شدہ سطح پر نہ چھوڑا جائے، کیونکہ دھول کے ذرات اس حصے پر گریں گے۔

ہوا کے بہاؤ پر بھی غور کیا جانا چاہیے، دھول کے ذرات پنکھے کے ذریعے اس حصے پر اڑا رہے ہیں، یا باہر سے کھلے دروازے کی وجہ سے خود کو اس حصے سے جوڑ سکتے ہیں، اور اس طرح بہت سی کمپنیاں ان حصوں کو سنبھالنے کے عمل کو انجام دینے کے لیے لیمینار فلو بینچ یا صاف کمرے کا استعمال کر رہی ہیں۔

بڑے susceptors اور گیس فلوٹنگ ڈسک کے لیے نقل و حمل کا تحفظ

بڑے سسپٹرز اور گیس فلوٹنگ ڈسک، بڑے اجزاء ہونے کے باوجود، اگر وہ صحیح طریقے سے تعاون نہیں کرتے ہیں تو شپنگ کے دوران بھی خراب ہو سکتے ہیں۔

شپنگ نقصان کی اکثریت کمپن اور غیر مساوی دباؤ سے ہوتی ہے جیسا کہ ایک بڑے حادثے کی مخالفت کرتا ہے۔ بڑے اجزاء کو شپنگ کنٹینر میں مکمل طور پر سہارا دینے کی ضرورت ہوتی ہے اور طویل عرصے تک سفر کے دوران کسی بھی طرف جھکاؤ یا حتیٰ کہ دباؤ اس اجزاء کے وارپنگ کا سبب بن سکتا ہے جو ری ایکٹر کے لیے نقصان دہ ہوگا۔

بڑے حصوں کی حفاظت کے لیے انہیں صاف پیکیجنگ مواد کے ساتھ مکمل طور پر سہارا دینے کی ضرورت ہے تاکہ کریٹ کے اندر پورے حصے میں بوجھ تقسیم ہو جائے اور کمپن جذب کرنے کے لیے پیک کیا جائے۔

نمی کے تحفظ پر بھی غور کرنے کی ضرورت ہے۔ مہر بند اندرونی بیگز اور ڈیسیکینٹ کو شامل کرکے کوئی بھی پیکنگ، پیکنگ اور شپمنٹ کے عمل کے دوران گاڑھا ہونے سے بچ سکتا ہے۔

کریٹس کو فورک لفٹ اور لفٹ کے سازوسامان کے ذریعے بھی منتقل کیا جانا چاہئے جب کہ نسبتا سطح پر رکھا جائے اور ساتھ ہی کریٹ پر دباؤ کو برقرار رکھا جائے تاکہ نقل و حمل کے مرحلے کے دوران اندرونی بوجھ کو منتقل نہ کیا جاسکے۔

Epitaxy ری ایکٹر کی تنصیب سے پہلے آنے والے معائنہ کے معیارات

کسی حصے کو ایپیٹیکسی ری ایکٹر میں ڈالنے سے پہلے اس کے ساتھ مسائل کو پکڑنے کا آخری موقع تب ہوتا ہے جب حصہ موصول ہوتا ہے۔

اگرچہ ایک حصہ ذخیرہ کرنے اور بھیجے جانے کے بعد صاف نظر آتا ہے، لیکن پھر بھی اس میں آلودگی یا چھوٹے نقائص موجود ہو سکتے ہیں جو ری ایکٹر کے گرم ہونے تک دریافت نہیں ہو سکتے۔

معائنہ کا عمل صاف ستھرے علاقے میں ہونا چاہیے، جہاں دھول پیدا کیے بغیر پیکیجنگ کھولی جا سکتی ہے۔ اس کے بعد اس حصے کو مضبوط روشنی کے نیچے قریب سے دیکھا جا سکتا ہے تاکہ نقائص، رنگت، کٹے ہوئے کونوں، یا خراب کوٹنگز کو تلاش کیا جا سکے۔

بڑے اجزاء جیسے گیس فلوٹنگ ڈسک اور سسپٹرس کو بھی ہموار اور مناسب جہتوں کے لیے معائنہ کرنے کی ضرورت ہے کیونکہ دونوں میں چھوٹی تبدیلیاں کارکردگی کے مسائل کا سبب بن سکتی ہیں۔ بہت ساری سہولیات اس حصے کو ری ایکٹر میں ڈالنے سے پہلے سطح کی صفائی کو بھی چیک کریں گی۔

ہر حصے کے لیے تفصیلی ریکارڈ رکھنا، بشمول سیریل نمبرز اور تصویریں، جب کوئی حصہ آخرکار ناکام ہو جاتا ہے یا بعد میں مسائل کا باعث بنتا ہے، تو یہ بھی ایک بہترین معاون ثابت ہو سکتا ہے۔

مکمل طور پر آنے والے معائنہ میں صرف خراب حصوں کو قبول کرنے سے انکار شامل نہیں ہوتا ہے۔ یہ انجینئر کو پیداواری خدشات بننے سے پہلے معمولی مسائل کو تلاش کرنے کی اجازت دیتا ہے، جس سے عمل کے بہتر استحکام، کم غیر متوقع ناکامیاں، اور زیادہ ویفر پیداوار حاصل ہوتی ہے۔