CVD سلکان کاربائیڈ (SiC) کوٹنگ

CVD SiC کوٹنگ بنیادی طور پر ایک سلکان کاربائیڈ کی تہہ ہے جو گریفائٹ پر جمع ہوتی ہے، اور یہ ایپیٹیکسی ٹولز میں وسیع پیمانے پر استعمال ہوتی ہے جہاں درجہ حرارت اور صفائی دونوں اہم ہیں۔ حقیقی پروڈکشن لائنوں میں، آپ اسے اکثر AIXTRON، ASM/LPE، Veeco کے ساتھ ساتھ کچھ AMAT سے متعلقہ پلیٹ فارمز کے سسٹمز میں دیکھیں گے۔ جو چیز اسے کارآمد بناتی ہے وہ صرف درجہ حرارت کی مزاحمت نہیں ہے، بلکہ طویل دوڑ کے دوران مجموعی استحکام ہے۔ عام ایپیٹیکسی حالات کے تحت - ہائیڈروجن، امونیا، یا یہاں تک کہ کلورین والی گیسیں - کوٹنگ نسبتاً مستحکم رہتی ہے اور نیچے گریفائٹ کی حفاظت کرتی ہے۔ یہ تھرمل فیلڈ کو زیادہ مستقل رکھنے میں مدد کرتا ہے اور نمو کے دوران ذرات کے ظاہر ہونے کے امکانات کو کم کرتا ہے۔

زیادہ تر وقت، کوٹنگ کو سسپٹرس، ویفر کیریئرز، گریفائٹ کے حلقے، یا آدھے چاند کے اجزاء جیسے حصوں پر لگایا جاتا ہے۔ یہ سب ویفر ہیٹنگ یا پوزیشننگ میں براہ راست ملوث ہیں، لہذا کوئی بھی چھوٹی عدم استحکام پیداوار کو متاثر کر سکتا ہے۔ اس وجہ سے، لیپت حصوں کو اکثر استعمال کی اشیاء کے طور پر سمجھا جاتا ہے جو اب بھی متعدد سائیکلوں پر قابل اعتماد ہونے کی ضرورت ہے، خاص طور پر 4 سے 12 انچ کی پیداوار میں۔