MOCVD کے لیے SiC لیپت گریفائٹ ہیٹر

مصنوعات کی تفصیلات

SiC Coated Graphite MOCVD ہیٹر اعلی درجہ حرارت اور SiC کوٹنگز کے سنکنرن مزاحمت کے ساتھ گریفائٹ کی بہترین تھرمل چالکتا کو یکجا کرتا ہے، اور وسیع پیمانے پر دھاتی نامیاتی کیمیائی بخارات جمع کرنے (MOCVD) کے آلات میں استعمال ہوتا ہے تاکہ ویفر ایپیٹیکسی نمو کے عمل میں استحکام اور اعلی پاکیزگی کو یقینی بنایا جا سکے۔

SiC لیپت گریفائٹ MOCVD ہیٹر پروڈکٹ کی خصوصیات

1. انتہائی اعلی طہارت اور کیمیائی استحکام

پاکیزگی ≥99.99995%: ہمارا گریفائٹ ہیٹر اعلی درجہ حرارت کلورینیشن کے تحت CVD عمل کے ذریعے تیار کیا جاتا ہے، جو دھات کی ناپاک آلودگی سے مؤثر طریقے سے بچتا ہے اور سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں انتہائی صاف ماحول کی مانگ کو پورا کرتا ہے۔

اینٹی کیمیکل سنکنرن: SiC کوٹنگ کی گھنی اور اعلی سختی (2500-2800 کی Vickers سختی) تیزاب، الکلیس، نمکیات اور نامیاتی سالوینٹس کے کٹاؤ کے خلاف مزاحمت کر سکتی ہے، جو سنکنرن گیس کے ماحول میں آلات کی سروس لائف کو طول دیتی ہے۔

2. بہترین اعلی درجہ حرارت مزاحمت

اعلی درجہ حرارت کا استحکام: یہ غیر فعال ماحول میں 3000 ° C تک، ویکیوم ماحول میں 2200 ° C تک مستحکم آپریشن، اور آکسائڈائزنگ ماحول میں 1600-1700 ° C تک برداشت کر سکتا ہے، جو MOCVD ردعمل چیمبر کے انتہائی حالات کے لیے موزوں ہے۔

تھرمل ایکسپینشن کا کم گتانک (4.5 x 10-⁶K-¹): MOCVD گریفائٹ ہیٹر کی یہ خصوصیت درجہ حرارت کی تبدیلیوں کی وجہ سے کوٹنگ کریکنگ یا چھیلنے کو مؤثر طریقے سے کم کرتی ہے، طویل مدتی تھرمل سائیکلنگ کے تحت ساختی سالمیت کو یقینی بناتی ہے۔

3. آپٹمائزڈ تھرمل مینجمنٹ کی کارکردگی

ہائی تھرمل کنڈکٹیویٹی (200-300 W/mK): گریفائٹ MOCVD ہیٹر کی اعلی تھرمل چالکتا اس بات کا تعین کرتی ہے کہ مصنوعات تیزی سے اور یکساں طور پر حرارت کو ویفر سطح کے درجہ حرارت کی مسلسل تقسیم (±1 ° C) حاصل کرنے کے لیے منتقل کر سکتی ہے، اس طرح مؤثر طریقے سے اپیٹیکسیل پرت کی یکسانیت کو بہتر بناتی ہے۔

لیمینر گیس فلو فیلڈ ڈیزائن: مسلسل ٹیکنالوجی کے تکرار اور اپ گریڈنگ کے بعد، ہمارے MOCVD ہیٹر کی سطح کی ہمواری (Ra ≤ 0.8μm) اور جیومیٹری کی اصلاح رد عمل والی گیسوں کی یکساں تقسیم کو یقینی بناتی ہے اور ہنگامہ آرائی کی وجہ سے جمع ہونے والی عدم یکسانیت کو کم کرتی ہے۔

تکنیکی پیرامیٹرز کا موازنہ اور فوائد

کیوں Semixlab؟

حسب ضرورت: Semixlab اپنے صارفین کو اپنی مرضی کے مطابق مصنوعات اور تکنیکی خدمات فراہم کرنے کے لیے پرعزم ہے۔ ہم سامان کی وسیع رینج کو ایڈجسٹ کرنے کے لیے غیر معیاری سائز (360 ملی میٹر قطر تک) اور کوٹنگ کی موٹائی (20-500μm) کی تخصیص کی حمایت کرتے ہیں۔

عالمی سرٹیفیکیشن: ہمارا SiC Coated Graphite Heater SEMI کے مطابق ہے، ISO 9001 مصدقہ ہے، اور ہماری مصنوعات بنیادی طور پر یورپ اور ریاستہائے متحدہ کے ساتھ ساتھ جاپان اور جنوبی کوریا کو بھی برآمد کی جاتی ہیں، جس کی قیمت/کارکردگی کا ایک اہم فائدہ ہے۔

تکنیکی ہم آہنگی: Semixlab نے کوٹنگ کی کثافت اور تھرمل جھٹکا مزاحمت کو بہتر بنانے کے لیے پیٹنٹ شدہ کوٹنگ ٹیکنالوجیز (جیسے CGT کاربن کا SiC³ عمل) کا استعمال کرتے ہوئے، چین کے اعلیٰ تحقیقی اداروں کے ساتھ طویل عرصے سے قریبی تعاون کو برقرار رکھا ہے۔