سلیکن کاربائیڈ کینٹیلیور پیڈل

سلکان کاربائیڈ کینٹیلیور پیڈل ایک اعلی کارکردگی کا صنعتی جزو ہے جس کی بنیاد Reaction Bonded SiC (RBSiC) ٹیکنالوجی پر ہے۔ سیمی کنڈکٹر ویفر پروسیسنگ، فوٹو وولٹک سیل کوٹنگ اور اعلی درجہ حرارت کیمیائی بخارات جمع (CVD) جیسے سخت حالات کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ سلکان کاربائیڈ کی انتہائی مزاحمتی خصوصیات کے ساتھ مل کر اس کا منفرد سنگل بازو کینٹیلیور ڈھانچہ، 1350℃ کے مسلسل اعلی درجہ حرارت والے ماحول میں ملی میٹر کی سطح کی درستگی کو برقرار رکھ سکتا ہے، جو روایتی کوارٹز، دھاتی مرکبات اور دیگر مواد کو تبدیل کرنے کے لیے ایک انقلابی حل بنتا ہے۔

مادی پیش رفت: سلیکن کاربائیڈ کی انجینئرنگ کی تعمیر نو

1. رد عمل sintering کے عمل کا مائیکرو معجزہ

تقریباً 10-15% فری سلیکان فیز کینٹیلیور پیڈل کی گرائن باؤنڈری پر سلکان پگھلنے کے عمل کے ذریعے sic preform میں گھس کر تین جہتی انٹرلاک ڈھانچہ تشکیل دیتا ہے۔ یہ مائیکرو اسٹرکچر اسے 3.02 g/cm³ کی کثافت، 0.1% سے کم کی پورسٹی، اور 250 MPa (20 ℃) ​​تک موڑنے کی طاقت دیتا ہے جبکہ ہلکے وزن (سٹینلیس سٹیل سے 40% کم) کو برقرار رکھتا ہے، جبکہ 300 GPa کے لچکدار ماڈیولس کو بھی برقرار رکھتا ہے۔

2. تھرموڈینامک پیرامیٹرز کا حتمی توازن

کینٹیلیور کا تھرمل ایکسپینشن کوفیشینٹ (CTE) ٹھیک ٹھیک 4.5×10-6K-1 پر کنٹرول کیا جاتا ہے، جو کہ LPCVD (کم پریشر کیمیکل وانپ ڈیپوزیشن) آلات کے کوٹنگ میٹریل سے بہت زیادہ میل کھاتا ہے تاکہ تھرمل بے میل کی وجہ سے انٹرفیس کے تناؤ کو کم کیا جا سکے۔ اس کی تھرمل چالکتا 1200 ℃ پر 45 W/(m·K) تک پہنچ جاتی ہے، جو گرمی کو تیزی سے بھگو سکتی ہے اور مقامی حد سے زیادہ گرمی سے بچ سکتی ہے، اور ہیٹ ڈسپیپشن ہول اری کے پیٹنٹ ڈیزائن کے ساتھ، ویفر ٹرے کے درجہ حرارت کا فرق 2℃/m² سے کم ہے۔

تکنیکی فائدہ: لیبارٹری سے بڑے پیمانے پر پیداوار تک چھلانگ

1. خودکار انکولی ڈیزائن

کینٹیلیور پیڈل کا لوڈ ایریا ایک ماڈیولر ونڈو ڈھانچہ (اپرچر کی درستگی ±0.05mm) کو اپناتا ہے، جو 150-300mm ویفرز سے لیس اور روبوٹ بازو کے ساتھ مطابقت رکھنے والے 12-axis لنکیج گراسنگ سسٹم کو سپورٹ کرتا ہے۔ ساختی سختی کو یقینی بنانے اور تیز رفتار ٹرانسمیشن میں متحرک استحکام کی ضروریات کو پورا کرنے کے لیے ₃ میں مجموعی وزن میں 22% کی کمی کو یقینی بنانے کے لیے مقررہ سروں کو دیوار کی تدریجی موٹائی (δ₁=8.6mm سے δ₁ 4.8mm) فراہم کی گئی تھی۔

2. آلودگی کنٹرول میں انقلاب

سطح پر 2-5μm SiO₂ passivation تہہ کی ان سیٹو جنریشن کے ذریعے، Cl₂, HF، دھاتی آئن ورن پر مشتمل سنکنرن ماحول میں کینٹیلیور بلیڈ 0.1 ppb سے کم ہے، جو ایلومینا مواد سے 3 آرڈرز کم ہے۔ 1000 ہائی ٹمپریچر سائیکل ٹیسٹ کے بعد، گرنے والے سطحی ذرات کی تعداد ہمیشہ 5/m2 سے کم ہوتی ہے، جو سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کی کلاس 10 کی صفائی کی ضروریات کو پورا کرتی ہے۔

فوری تفصیل:

1. دیگر نام: اعلی درجہ حرارت ویفر ٹرانسفر پیڈل؛ RBSiC کینٹیلیور گاڑی؛ لیپت کینٹیلیور پلیٹ فارم؛ SiC Monolithic Cantilever.

2. درخواست: 

سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ: ڈفیوژن فرنس، اینیلنگ فرنس، آکسیڈیشن فرنس اور دیگر سامان میں نقل و حمل کے ویفرز۔

فوٹو وولٹک کوٹنگ: TOPCon/HJT سیل PECVD پروسیس ویفر ٹرانسپورٹ کو سپورٹ کرتا ہے،

3. بنیادی پیرامیٹرز: موڑنے کی طاقت 380 MPa (کمرے کا درجہ حرارت) → 280 MPa (1400℃) ہے، تھرمل ایکسپینشن گتانک 4.2×10⁻⁶/℃ ہے، اور 40% HF کی سنکنرن کی شرح 0.008 ملی میٹر/سال سے کم ہے۔ غیر فعال ماحول 1600℃ مسلسل استعمال، آکسیکرن ماحول 1400℃، سپورٹ 1400℃↔25℃ تھرمل جھٹکا سائیکل 500 بار۔

سیمی کنڈکٹر ویفر مینوفیکچرنگ

ڈفیوژن فرنس ویفر ریک: فاسفورس/بوران ڈوپنگ کے عمل میں، 300mm سلکان ویفر کو 1250℃/8 گھنٹے ہیٹ ٹریٹمنٹ کا نشانہ بنایا جاتا ہے، اور شکل متغیر 0.1mm/m سے کم ہے۔

ایپیٹیکسیل گروتھ ٹرے: ایس آئی سی ایپیٹیکسیل پرتوں کے ایم او سی وی ڈی جمع کرنے کے لیے، 10-6 ٹور ویکیوم کے تحت ویفرز کی نانوسکل پوزیشننگ کو سپورٹ کرتا ہے۔

فوٹو وولٹک سیل کی پیداوار

PERC کوٹنگ وہیکل: PECVD آلات میں 800℃ پلازما بمباری کا نشانہ، 5000 سے زیادہ بار کی سروس لائف، گریفائٹ مواد سے 8 گنا زیادہ۔

TOPCon لیزر سنٹرنگ: 10ns کی پلس چوڑائی والے لیزر سسٹم کے ساتھ، بیک پولی کرسٹل لائن سلکان لیئر کی سلیکٹیو سنٹرنگ الائنمنٹ درستگی ±3μm کے ساتھ حاصل کی جاتی ہے۔

1. مادی خصوصیات میں تخریبی پیش رفت

سلیکون کاربائیڈ کینٹیلیور پروپیلر ری ایکٹیو سنٹرنگ سلکان کاربائیڈ (RBSiC) ٹیکنالوجی کو اپناتا ہے، اور سلیکان کاربائیڈ میٹرکس کو سلیکون میلٹ کے ذریعے گھستا ہے تاکہ پوروسیٹی <0.5% کے ساتھ گھنے ڈھانچے کو حاصل کیا جا سکے۔ اس کی موڑنے کی طاقت 380 MPa (کمرے کا درجہ حرارت) تک زیادہ ہے، اور یہ اب بھی 1400℃ اعلی درجہ حرارت پر 280 MPa کی طاقت کو برقرار رکھتا ہے۔

2. انتہائی ماحول میں استحکام

اعلی درجہ حرارت کے خلاف مزاحمت: 1600 ℃ تک مسلسل کام کرنے کا درجہ حرارت (غیر فعال ماحول)، 1800 ℃ فوری اعلی درجہ حرارت (جیسے لیزر سنٹرنگ عمل) کے خلاف قلیل مدتی مزاحمت، نرمی یا اخترتی کا کوئی خطرہ نہیں۔

سنکنرن مزاحمت: مضبوط تیزاب جیسے HF، HCl، اور H₂SO₄ <0.01 ملی میٹر/سال کی سنکنرن کی شرح۔ Cl₂/O₂ پر مشتمل CVD ری ایکشن چیمبرز میں زندگی کا دورانیہ گریفائٹ مواد کے مقابلے میں 5-8 گنا بڑھ گیا۔

تھرمل جھٹکا مزاحمت: سپورٹ 1400℃ ↔ 25℃ تیز درجہ حرارت کی تبدیلی کے سائیکل (ΔT=1375℃)، 500 سائیکلوں کے بعد کوئی کریکنگ یا طاقت کی کشندگی نہیں ہے۔