سی سیرامکس

SiC سیرامکس کو سیمی کنڈکٹر آلات میں زیادہ سے زیادہ استعمال کیا جاتا ہے، بنیادی طور پر اس لیے کہ وہ سخت حالات میں بہتر طور پر برقرار رہتے ہیں۔ جب درجہ حرارت زیادہ ہو جاتا ہے یا عمل زیادہ جارحانہ ہو جاتا ہے، تو کوارٹز یا سلکان جیسے مواد حدیں دکھانا شروع کر سکتے ہیں، اور عام طور پر اسی جگہ SiC آتا ہے۔ آکسیڈیشن یا ڈفیوژن جیسے فرنس کے عمل میں، SiC سے بنے ویفر بوٹس یا پیڈل جیسے حصے زیادہ دیر تک چلتے ہیں۔ وہ اپنی شکل برقرار رکھتے ہیں اور لمبی دوڑ کے بعد بھی زیادہ آلودگی نہیں لاتے۔ لوگ اکثر اس وجہ سے کوارٹج سے سوئچ کرتے ہیں، خاص طور پر جب دیکھ بھال بہت زیادہ ہو جاتی ہے۔

اینچنگ کے لیے، SiC کو اکثر صرف اس لیے منتخب کیا جاتا ہے کہ یہ پلازما میں زیادہ دیر تک زندہ رہتا ہے۔ سلیکون پرزوں کے مقابلے میں زندگی بھر کا فرق بہت سے سیٹ اپ میں نمایاں ہے، حالانکہ یہ اب بھی عین عمل پر منحصر ہے۔ یہ ذرات کے کنٹرول میں بھی تھوڑی مدد کرتا ہے، جو نوڈس کے سکڑنے کے ساتھ زیادہ حساس ہو جاتا ہے۔ آپ ایم او سی وی ڈی یا سی وی ڈی میں سسیپٹرز کے طور پر استعمال ہونے والے SiC کو بھی دیکھیں گے۔ ان صورتوں میں، یہ "طاقت" کے بارے میں کم اور درجہ حرارت کے رویے کو مستحکم رکھنے کے بارے میں زیادہ ہے۔ اس کے باہر، یہ چیمبر کے حصوں جیسے لائنرز یا شاور ہیڈز، اور بعض اوقات اجزاء کو سنبھالنے میں بھی ظاہر ہوتا ہے۔